图2: 传感器的结构

解：C0??r?0Sd??r?0bld

当平板有相对平移?l时的电容

??S??b(l??l) C1?r0?r0

dd电容变化量 ?C?C1?C0??r?0b(l??l)?r?0bld?d??r?0b?ld

?C?r?0b?l?r?0b1?8.85?10?12?2?10?3????3.54?10?11F/m 灵敏度 k??3?ld?ld0.5?10电容变化量：?C?k?l?3.54?10?11?2?10?3?7.08?10?14F