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定位精度与激光干涉仪线性分析报告

一、数控机床定位精度常见误差曲线及分析 1．负坡度

图1中曲线向外运行和向内运行，两个测试均出现向下的坡度。图1显示在整个轴线长度上，误差呈线性负增加。这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。

图1

1．负坡度可能原因。在激光干涉仪设置上，可能光束准直调整不正确，如果轴线短于lm，则可能是材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确或波长补偿不正确。 （2）、检查材料传感器是否正确定位以及输入的膨胀系数是否正确。

(3) 机床可能的误差源。俯仰和扭摆造成阿贝（Abbé）偏置误差、机床的线性误差。 建议：检查在垂直轴上的平衡作用。检查控制器补偿。

再检查机床的俯仰和丝杆同轴度。 丝杠可能在最近的一次维修或机床移动时被弄弯了，或者丝杠偏心旋转。 2．正坡度

如图2显示在整个轴线长度上，误差呈线性正递增。可能是以下几种问题：

(1)激光干涉仪设置可能有问题。如：材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确，波长补偿不正确。

(2)机床方面的问题。检查机床的俯仰和扭摆误差、机床的线性误差。

(3)建议：检查EC10和传感器是否已连接并有反应，或者检查输入的手动环境数据是否正确。检查材料传感器是否正确定位以及输入的膨胀系数是否正确。检查并调节导轨塞铁松紧。检查控制器补偿。

建议：（1）如果轴线行程很短，请检查激光的校准情况，检查电脑和测量头是否已连接并有反应；

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图2

3．周期性曲线

图3显示整个轴线长度上的重复周期误差。沿轴的俯仰保持不变，但幅度可能变化。周期性曲线可能原因：

(1)激光干涉仪设置上的问题。该曲线的误差大小，不太可能与仪器操作有关，主要去分析机床本身的误差源。

(2)机床方面的问题。丝杠或传动系统故障、编码器问题或故障、长型门式机床轨道的轴线直线度。检查丝杠和导轨润滑。

(3)建议：采用小得多的采样点间隔，在一个俯仰周期上再测量一次，确认俯仰误差。作为一项指导原则，如果你要检查的是机床某元件的周期性影响，可将采样间隔设为预期周期性俯仰的1/8。比较以下各项，确认可能的误差来源：机床丝杠的螺距、编码器、分解器的支撑点之间的距离。

图3

检查位置反馈系统。将周期性误差大小与感应式测量器(Inductosyn）计量器上的编码器节段或球栅尺（Spherosyn）计量器中的球尺寸比较。

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如果周期性误差很小，应考虑编码器插补故障的可能性。以极小的采样间隔重新检查，以降低伪信号的可能性。

4．偏移

图4显示去程和回程两次测试之间，具有不变的垂直偏移。偏移曲线可能原因：

(1)激光干涉仪设置上的问题。该曲线的误差大小，不太可能与仪器操作有关，主要去分析机床本身的误差源。

(2)机床方面的问题。反向间隙未补偿或不当补偿，滑鞍、主轴箱与导轨之间存在间隙（松动）。 (3)建议：对丝杠或滚珠丝杠驱动装置：检查球状螺母或丝杠是否磨损。检查丝杠轴承端部浮动情况。使用角度光学镜组，检查轴线反转时的滑鞍、主轴箱角度间隙。检查控制器内设置的反向间隙补偿是否正确。线性编码器系统方面：当测试采用配备旋转位置反馈编码器的滑鞍、主轴箱或丝杠驱动装置的机床时，将产生这种图形。对于这类机床，当轴线改变方向时，尽管在吸收反向间隙时，待测轴线将瞬间暂停，滚珠丝杠或小齿轮驱动装置内的反向间隙仍使位置反馈系统记录有移动。

图4

5．喇叭状

图5显示，在去程测试中出现向下的坡度，回程测试为去程测试的镜像。去程和回程测试之间的偏差（或滞后或反向间隙）随轴线离开受驱动端而逐渐提高。燕尾状图形可能原因：

(1)激光干涉仪设置上的问题：该曲线的误差大小，不太可能与仪器操作有关，主要去分析机床本身的误差源。

(2)机床方面的问题。滚珠丝杠扭转、导轨太紧、使用的误差补偿值不正确。此类图形表示滚珠丝杠发生扭转。当转动滚珠丝杠所需的扭矩太高，丝杠自身开始发生变形（扭曲）时，将出现滚珠丝杠扭转。扭曲量随着滚珠丝杠的螺帽离开受驱动端而逐渐提高。若导轨或丝杆螺母副很紧或咬着，或滚珠丝杠自身强度不够，可能发生滚珠丝杠扭转。垂直轴线的平衡块重量不足也会引起这个问题。

当机床逐渐离开起始点时，转动滚珠丝杠所需的扭矩使它发生扭曲。如果编码器安装在滚珠丝杠的受驱动端，它转动的角度将比在对端要稍大一点。

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