低能强流离子注入机实验装置简介
3.1仪器的整体结构:
图3.1 仪器实物图
该图为本论文所使用的仪器的整体实物图,如下图示意图所示,该仪器从头到尾依次为离子源,引出系统,聚焦透镜,速度选择器,聚焦透镜,X-Y 偏转系统,聚焦透镜,波恩管,靶室。下文依次介绍各个部件
图3.2 仪器示意图
3.2离子源及引出系统
图3.3 离子源实物图
离子源是加速器的重要部件,它的功能是将样品物质电离成带电的原子离子或分子离子。离子源应具有电离效率高,聚焦性能好,离子初始能量发散小,传输效率高,离子流稳定等特点。
图3.4 离子源及引出剖面示意图
如图所示,离子源内部为真空环境,其内部带有环状灯丝。由样品入口将气体导入,通过加大灯丝电流,由灯丝阴极发射出电子。从阴极发射的电子通过中空的阳极被加速,到达对阴极之前又被减速并反向加速,电子在阴极-阳极-对阴极之间来回振荡,在轴向磁场的作用下作螺旋进动,并在空间上被磁场约束在轴线附近,不致扩散阳极边缘,从而使电子可以经历很长的路程,使气体碰撞游离的几率大大增加。当电子通过电离盒射向阳极时,具有一定能量和几何形状的电子束不断轰击样品气体,可使通入的气体发生电离,产生包括正离子在内的各种产物,正离子被引出极引出离子源。大部分样品气体和电子,离子产物被离子源的真空泵不断抽走。离子源四周带有环形磁场,灯丝与源磁铁之间为绝缘状态。环形磁场可以约束内部离子沿螺旋轨迹前进,增加样品气体与电子束的碰撞机会,提高电离几率,进而提高离子产生率。当样品气体在离子源内被大量电离时,由于引出极与灯丝间有150V的起弧电压差,在电场作用下,大量正离子被引出,同时赋予离子一定的初速度。由于引出口的大小问题,在正离子被导出引出极时,会有大量离子打在引出板上,产生起弧电流。