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波谱仪：

1：波谱仪由于通过分光体衍射，探测X射线效率低，因而灵敏度低。 2：波谱仪只能逐个测量每种元素的特征波长。 3：波谱仪结构复杂。

4：波谱仪对样品表面要求较高

27. 直进式波谱仪和回转式波谱仪各有什么优特点?

答：直进式波谱仪优点是X射线照射分光晶体的方向是固定的，即出射角ψ保持不变，这样可以使X射线穿出样品表面过程中所走的路线相同，也就是吸收条件相同；回转式波谱仪结构比直进式波谱仪简单，但出射方向改变很大，在表面不平度较大的情况下，由于X射线在样品内行进路线不同，往往会因吸收条件变化而造成分析上的误差。

28. 要分析钢中碳化物成分和基体中碳含量，应该选用哪种电子探针仪？为什么？ 分析钢中碳化物成分可用能谱仪；分析基体中碳含量可用波谱仪。

分析钢中碳化物的成分属于定性分析，用能谱仪灵敏度高且几分钟就可得到结果；分析基体中碳含量属于定量分析，波谱仪的能量分辨率达5~10eV，而能谱仪能量分辨率约为160eV。故用波谱仪分析较好。 29. 举例说明电子探针的三种工作方式(点、线、面)在显微成分分析中的应用

定点分析，如需分析ZrO2（Y2O3）陶瓷析出相与基体含量成分高低，用定点分析几分钟便可得到结果。 线分析，如需分析BaF2晶界上元素的分布情况，只需进行线扫描分析即可方便知道其分布。

面分析，如需分析Bi元素在ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布，只需将谱仪固定在接受其元素特征X射线信号的位置上，即可得到其面分布图像。

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