4金属薄膜电阻率地测量 下载本文

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5金属薄膜电阻率的测量

一. 实验目的

1. 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 2. 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。 二. 实验仪器

RTS-5型双电测四探针测试仪 三. 实验原理

双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式(见图1)

将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I14V23和I13V24组合测量,测量过程如下: 1. 进行I14V23组合测量:

电流I从1针→4针,从2、3针测得电压V23+; 电流换向,I从4针→1针,从2、3针测得电压V23-; 计算正反向测量平均值:V23=(V23++V23-)/2; 2.进行I13V24组合测量:

电流I从1针→3针,从2、4针测得电压V24+;

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电流换向,I从3针→1针,从2、4针测得电压V24-; 计算正反向测量平均值:V24=(V24++V24-)/2; 3. 计算(V23/V24)值; (以上V23、V24均以mV 为单位) 4. 按以下两公式计算几何修正因子K: 若1.18<(V23/V24)≤1.38 时;

K=-14.696+25.173(V23/V24)-7.872(V23/V24)2;…(1) 若1.10≤(V23/V24)≤1.18 时;

K=-15.85+26.15(V23/V24)-7.872(V23/V24)2;…(2) 5. 计算方块电阻R□:

R□=K·(V23/I) (单位:Ω/□);…(3) 其中:I为测试电流,单位:mA;

V23为从2、3针测得电压V23+和V23-的平均值,单位:mV; 6. 若已知样品厚度W,可按下式计算样品体电阻率ρ: ρ=R□·W·F(W/S)/10 (单位:Ω.cm);…(4) 其中:R□为方块电阻值,单位:Ω/□; W为样片厚度,单位:mm(W ≤3mm); S为探针平均间距,单位:mm; F(W/S) 为厚度修正系数;

7. 计算百分变化率(以测试样品电阻率ρ为例):

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ρM -ρm

最大百分变化(%)=─────×100%…(5)

ρm

│ρa -ρc │

平均百分变化(%)=─────────×100%…(6)

ρc 2(ρM -ρm )

径向不均匀度E(%)=──────────×100%…(7)

ρM +ρm

以上式中:ρM 、ρm 分别为测量的电阻率最大值与最小值,单位:Ω.cm;

ρc 为第1、2 点(即圆片中心测量点)测量平均值,单位:Ω.cm; ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值,单位:Ω.cm; (若测量样品的方块电阻值,则将(5)、(6)、(7)式中的ρM 、ρm 、ρa 、ρc 分别改成RM 、Rm 、Ra 、和Rc 。其公式意义与ρM 、ρm 、ρa 、ρc 相似)。 四.实验步骤

1.将主机、探针测试台、四探针探头、计算机连接,开启主机,启动RTS-5双电测四探针软件测试系统

2. 放置样品于测试台,操作探针台压下探针,使样品接通电流 3.选择对样品要进行的测试类别,及输入相关测试基本参数

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