文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 生 效 日 期: 2012-9-1
程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A
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1.0 目的:规范ESD测试项目正确的测量作业步骤和方法，减少因不同人员测量方法上的差异，而影响实际量
测数值之精确度。
2.0 适用范围:适用本公司静电防护区域所有需测试项目。
3.0 定义:
3.1 EPA：Electrostatic discharge Protected Area静电防护区域
3.2 表面电阻：在一给定的通电时间之后，施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对于电极之间的电流的比值，在电极上可能的极化现象忽略不计。
3.3体积电阻：在一给定的通电时间之后，施加于与一块材料的相对两个面上相接触的两个引入电极之间的直流电压对于该两个电极之间的电流的比值，在该两个电极上可能的极化现象忽略不计。 4.0 权责:
4.1 IQC负责静电敏感组件来料包材及自购料辅助材料之入厂检测项目；
4.2行政科负责设备接地主线、静电接地主线、接地桩和防静电地板对地电阻项目测试；
4.3各部门负责静电皮/垫、静电扣、静电环、静电鞋、静电服/帽、流水线体、工作台、料架/周转车、防静电工作椅、离子风机、静电地板表面、电烙铁、电动起子等项目测试； 4.4各EPA部门主管负责监督本部门人员进入EPA静电环和人体综合电阻测试； 4.5各EPA部门主管负责监控本区域环境温湿度并记录； 4.6各测试项目负责部门保存相关测试记录； 4.7各部门负责本部门ESD测试设备的维护与保养。 5.0 内容：
5.1 包材/生产周转辅材表面阻抗测试：
5.1.1 IQC负责供应商静电敏感组件来料之内包装材料入厂检测，以及气泡袋、保护膜自购料等包装辅
助材料之入厂检测，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*10Ω，其几何周边尺寸均大于被测材料100mm，且两锤之间的间距不小于300mm，测试方法如下：
1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，将两锤分别放置于被测材料表面；
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2）按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试，直至上面LED不跳动并读数，LED假如在108下方，则表示被测材料表面电阻为108Ω； 3）防静电包装材料表面阻抗规格具体如下：
ESSD来料包装辅材：＜1*1010Ω，气泡袋：1*104~1*1011Ω；保护膜：＜1*109Ω；泡棉垫＜1*1010
Ω,Tray盘:1*104~1*1011Ω
检验员需将测量结果记录于检验报告中。
5.2 静电皮/垫与静电线导通、表面阻抗测试；静电支线（含静电扣）导通测试：
5.2.1各部门负责静电皮之体积电阻和表面阻抗测试，测试设备使用重锤测试仪，测试方法与步骤如下：
1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，表面电阻测试如下左图所示将两锤分别放置于被测材料表
面，两锤之间的间距不小于300mm；体积电阻测试如下右图所示将一锤放置于被测静电皮上，另一锤放置于静电地板上，测静电皮体积电阻时工作台本身对地电阻需满足标准要求（工作台对静电地板电阻测试见5.4），两锤之间的间距不小于500mm；
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2）按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试，直至LED不跳动并读数；
3）静电皮/垫之体积电阻和表面阻抗规格为1*104～1*109Ω，测试结束后即将测试值记录于【静电
皮阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录之保存。
5.2.2 各部门负责静电支线（静电扣）导通测试，测试设备使用万用表，测试方法与步骤如下： 1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200Ω”档；
2）将万用表的测试线一端接触一静电支线，另一测试线端接触另一静电支线金属线部位，读取
电阻值。
3）测试完关闭万用表开关。
4）各部门测试人员需将测试数据记录于【静电线阻抗测试记录表】并保存，测试结果如大于4Ω，各部门自行负责进行检修
5.2.3 测量结果记录于检验报告中，测试结果如判定合格，需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测
试有效期限，如测试后判定不合格，由各部门负责进行检修或按更换，修理或更换后需经再测试合格后方可投入使用。
5.3静电服/帽子/手套表面阻抗测试：
5.3.1各部门负责静电服和帽子之表面阻抗测量，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，
绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*1013Ω，要有足够的尺寸，点对点测量至少要测量3个不同位置的值，且两锤之间的间距不小于300mm，点对点表面阻抗测量是指内表面和外表面之间的电阻，测试方法与步骤如下：
1）准备工作：被测试静电服/帽子应预先洗净。洗涤后的静电服帽，在60±10℃温度下干燥1h后，
测试静电支线导通测试 万用表两侧头测试置位置