MEMS & Microsystems—Design and Manufacture

机械电子工程学院研究生专业课程 教材

刘晓明,朱钟淦著.《微机电系统设计与制造》国防工业出版社,2006 参考书籍

?[美] 徐泰然著,王晓浩等译. MEMS和微系统-设计与制造. 机械工业出版社,2003

?[德]W.Menz著,王春海等译. 微系统技术. 化学工业出版社,2003

?[美]Michael Quirk & Julian Serda著,韩郑生等译.半导体制造技术. 电子工业出版社,2003

课程安排 课时——40 学时

上课安排——第1周-第11周 周二/ 7-8节,B 208 周四/ 3-4节,B 201 考试方式——闭卷

考分比例——期末考试60% 不设中期考试

平时讨论、大作业与出勤40% 授课内容

ü微机电系统(MEMS概论(2 hoursüMEMS的理论基础知识(6 hours ü集成电路基本制造技术(8 hours üMEMS的制造技术(6 hours ü微传感器(8 hours ü微执行器(6 hours

üMEMS的封装与检测(4 hours 概论 第一章

微机电系统(MEMS 概论内容提要

üMEMS 的基本概念,与宏观机电系统的对比特征üMEMS 技术的发展过程与大致技术现状üMEMS 典型产品的应用

一、MEMS 的形成与发展 1、MEMS 的形成基础

机械电子学——机械学、电子学、计算机技术交叉MEMS ——机/电/磁/光/声/热/液/气/生/化等多学科交叉

学科交叉的产物MEMS 传热学 力学

电/磁学光学化学生物学量子力学声学 流体

一、MEMS的形成与发展 1、MEMS的形成基础 与机械电子学的关系 ?基本组成相同 ?不是简单的提升 定子转子 扭矩传 递齿轮