综合样品的电阻率与热电势的关系，出厂时温控仪温度设定为100℃，可满足多数
测量需要。 3.被测样品的测量面须用金刚砂研磨或喷沙，并除去沾污。
4.用整流法测量，按一下整流法按钮，此时按钮点亮(接通电源时，仪器自动选择为整流法)。此时将整流法探笔轻轻压在样品被测表面上，然后从PN显示屏观察即可知道导电类型。测量过程中，应保证三根针都与被测面接触，否则可能产生误判断。最后将样品的测试结果记录在下表中：
硅片 样品1 样品2 样品3 导电类型 （P/N） 5.采用温差法测量时，按一下温差法按钮，此时温差法按钮会点亮，此时将冷热笔紧紧压在被测面上。然后从PN显示屏观察即可知道导电类型。在测试高阻（>104Ω·Cm；）样品时如果灵敏度不够，可将热笔温度稍为提高，但不可超高150℃
6.测量过程中应注意零点的调整，否则会带来误判。最后将样品的测试结果记录在下表中：
硅片 样品1 样品2 样品3 导电类型 （P/N）
第二章 温度传感器测试及半导体制冷控温实验仪
FB820型温度传感器温度特性实验仪包含五种不同的温度传感器，可用于多种温度传感器以及温度特性研究性试验，该仪器面板布局及功能图如下所示：
图中：
（1）加热功能指示；
（2）加热、致冷功能转换按钮，释放位置为加热，按下为致冷 （3）致冷功能指示：（4）毫伏表作为电压表测量功能指示；
（5）电压表、致冷电流表测量功能转换按钮，释放时为电压功能，按下时为致冷器工
作电流测量功能； （6） 致冷电流测量功能指示；
（7）四位半电压、电流数值显示；（8）电压表2V量程指示； （9）电压表量程转换，释放位置为20V量程，按下时为2V量程；
（10）电压表20V量程指示；（11）控温设定值显示； （12）温度设置功能键； （13） 测量温度显示； （14）致冷井致冷工作指示； （15）致冷井； （16）加热井加热工作指示； （17） 加热井；（18）加热器降温风扇开关； （19）加热器工作电压选择：电压分别为0V, 16V, 24V(Imax?2A)，可控制加热速度快
慢；
（20）PN结温度传感器专用测试单元； （21）电压型LM35温度传感器专用测试单元； （22）集成电流型AD590温度传感器专用测试单元；
（23）恒流源法Pt100 MF53-1温度传感器测试单元；
（24）直流电桥法温度传感器测试单元，（需用户自备五盘电阻箱）； （25）、（26）外接电阻箱接入端钮； （27）分别为三路电源负极；
（28）2V(Imax?100mA)直流电源正极；（29）20V(Imax?100mA)直流电源正极；（30）
1mA(Vmax?15V)恒流源正极； （31）致冷器工作电流调节（Imax?3.5A）。
实验二 电压型集成温度传感器(LM35)温度特性的测试
一、 实验目的
测量电压型温度传感器的温度特性 二、 实验原理
1.“温度”是一个重要的热学物理量，它不仅和我们的生活环境密切相关，在科研及生产过程中，温度的变化对实验及生产的结果也是至关重要的，所以温度传感器的应用更是十分广泛的。温度传感器是利用一些金属、半导体等材料与温度相关的特性制成的。常用的温度传感器的类型、测温范围和特点见表1。
类型 表1常用的温度传感器的类型和特点 传感器 测温范围特 点 (?C) 铂电阻 铜电阻 镍电阻 半导体热敏电阻 (PTC NTC CTC) 铂铑-铂 （S） 铂铑-铂铑（B） 镍铬-镍硅（K） 镍铬-康铜（E） 铁-康铜 （J） PN结温度传感器 IC温度传感器 ?200~650 热 电 阻 ?50~150 ?60~180 -50～315 准确度高、测量范围大 电阻率大、温度系数大、线性差、一致性差 热 电 偶 其 它 0~1300 0~1600 用于高温测量、低温测量两大类、0~1000 必须有恒温参考点（如冰点） ?20~750 ?40~600 ?50~150 体积小、灵敏度高、线性好、一致性差 ?50~150 线性度好、一致性好 2.电压型集成温度传感器（LM35）
LM35温度传感器，标准T092工业封装，其一般为?0.5?C。（有几种级别）由于其输出为电线性极好，故只要配上电压源，数字式电压表就成一个精密数字测温系统。内部经激光校准保证
准确度压，且可以构了极高
的准确度及一致性，无须再校准。输出电压的温度系数KV?10.0mV/?C，利用下式可计算出被测温度t(?C):
U0?KVt?(10mV/?C)t
即： t(?C)?U0/10mV （1）
LM35温度传感器的电路符号见图4，Vo为输出端。实验测量时只要直接测量其输出端电压Uo，即可知待测量的温度。 三、实验仪器
FB820型温度传感器温度特性实验仪 1台及五种不同的温度传感器 四、实验步骤
按图14-3接线。控温传感器Pt100铂电阻(A级)已经装在致冷井和加热干井炉中与其它井孔离中心相同半径的位置,保证其测量温度与待测元件实际温度相同。在环境温度高于摄氏零度时，先把温度传感器放入致冷井中（图中实线所示），利用半导体致冷把温度降到0?C，并以此温度作为起点进行测量，每隔10?C测量一次，直到需要待测温度高于环境温度时，就把温度传感器转移到加热干井中，然后开启加热器，控温系统每隔10?C设置一次，待控温稳定2min后，测试传感器(LM35)的输出电压，数据记入表3：
表3 LM35温度特性测试数据 3 4 5 6 7 20 30 40 50 60 序号 1 0 2 10 8 70 9 80 10 90 11 100 t(?C) U0(V) 得到数据用最小二乘法进行拟合得: A?__________ ，r?____________ 。
(实验报告中具体给出利用最小二乘法的数据处理过程)