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谷老师谈话整理——激光器验收

一、 仪器基本情况及关键指标

锁模紫外激光器主要技术参数： 1)波长(nm)：355； 2)输出模式：TEM00（高斯光）； 3)工作模式：锁模，准连续激光（由于脉冲频率很高，几乎相当于连续的）； 4)重复频率(MHz)：100±1； 5)平均功率(mW)：150； 6)功率稳定性(over 8 hours)：< ±1% rms； 7)脉宽：﹥10ps； 8)预热时间(minutes)：<10； 9)光斑发散角(mrad)：<2.0； 10) 光斑直径(mm)：0.9 ±15%； 11) 工作温度 (℃)：15～35； 12) 偏振：水平偏振。 二、 验收项目

1)波长(nm):355； 4)重复频率(MHz): 100±1； 5)平均功率(mW)：150； 6)功率稳定性(over 8 hours) :< ±1% rms； 7)脉宽: ﹥10ps； 9)光斑发散角: (mrad)：<2.0； 10) 光斑直径: (mm)：0.9 ±15%； 11) 工作温度 (℃)：15～35； 12) 偏振：水平偏振。

关键验收指标：激光器的稳定性、均匀性、持续时间，涉及到的关键指标有：脉冲宽度 、重复频率、平均功率（峰值功率）、光斑发散角

注：以上指标在不同温度下测试 三、 验收仪器

波长计（光谱仪）、光电探测器（将光信号转换为电信号）、示波器、功率计、光束分析仪（光斑分析仪） 四、 验收方法与操作流程

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1） 结合光电探测器+示波器：通过示波器可观看到激光的脉冲

宽度、重复频率、功率峰值大小，并观察其稳定性情况，正常情况下各项指标误差在±2%以内； 2） 功率计：测试平均功率密度；

注：结合偏振片还可测试偏振方向，改变偏振片取向看功率计中入射功率的变化。

3） 波长计或光谱仪：测试波长纯度，应满足误差不超过±1%； 4） 光束分析仪或光斑分析仪：测试光斑直径大小和衍射角 注：当没有上述仪器时，可以简单设计以下测试方案：即，在激光光路上的不同位置记录下光斑直径的大小，测量相应位置距离，即可计算出衍射角大小

5) 功率均匀性测试方法：光束先后经过透镜、光阑，光束经过光阑调制后进入功率计，测试不同位置功率大小。

6）BBO晶体正入射的调制方法：光束经透镜聚焦后经过光阑调制进入BBO晶体，如果BBO没有垂直放置的话，经BBO反射的激光将不能反射返回进入光阑中（聚焦透镜应该选择吸收和散射较少的，一般要求石英制作透镜）。

注意：1）355nm激光不能直接打到光电探测器上，2）观察各项测试指标在其连续工作数小时后是否保持稳定，可以每隔一小时测试一次；

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