激光器测试验收报告 下载本文

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谷老师谈话整理——激光器验收

一、 仪器基本情况及关键指标

锁模紫外激光器主要技术参数: 1)波长(nm):355; 2)输出模式:TEM00(高斯光); 3)工作模式:锁模,准连续激光(由于脉冲频率很高,几乎相当于连续的); 4)重复频率(MHz):100±1; 5)平均功率(mW):150; 6)功率稳定性(over 8 hours):< ±1% rms; 7)脉宽:﹥10ps; 8)预热时间(minutes):<10; 9)光斑发散角(mrad):<2.0; 10) 光斑直径(mm):0.9 ±15%; 11) 工作温度 (℃):15~35; 12) 偏振:水平偏振。 二、 验收项目

1)波长(nm):355; 4)重复频率(MHz): 100±1; 5)平均功率(mW):150; 6)功率稳定性(over 8 hours) :< ±1% rms; 7)脉宽: ﹥10ps; 9)光斑发散角: (mrad):<2.0; 10) 光斑直径: (mm):0.9 ±15%; 11) 工作温度 (℃):15~35; 12) 偏振:水平偏振。

关键验收指标:激光器的稳定性、均匀性、持续时间,涉及到的关键指标有:脉冲宽度 、重复频率、平均功率(峰值功率)、光斑发散角

注:以上指标在不同温度下测试 三、 验收仪器

波长计(光谱仪)、光电探测器(将光信号转换为电信号)、示波器、功率计、光束分析仪(光斑分析仪) 四、 验收方法与操作流程

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1) 结合光电探测器+示波器:通过示波器可观看到激光的脉冲

宽度、重复频率、功率峰值大小,并观察其稳定性情况,正常情况下各项指标误差在±2%以内; 2) 功率计:测试平均功率密度;

注:结合偏振片还可测试偏振方向,改变偏振片取向看功率计中入射功率的变化。

3) 波长计或光谱仪:测试波长纯度,应满足误差不超过±1%; 4) 光束分析仪或光斑分析仪:测试光斑直径大小和衍射角 注:当没有上述仪器时,可以简单设计以下测试方案:即,在激光光路上的不同位置记录下光斑直径的大小,测量相应位置距离,即可计算出衍射角大小

5) 功率均匀性测试方法:光束先后经过透镜、光阑,光束经过光阑调制后进入功率计,测试不同位置功率大小。

6)BBO晶体正入射的调制方法:光束经透镜聚焦后经过光阑调制进入BBO晶体,如果BBO没有垂直放置的话,经BBO反射的激光将不能反射返回进入光阑中(聚焦透镜应该选择吸收和散射较少的,一般要求石英制作透镜)。

注意:1)355nm激光不能直接打到光电探测器上,2)观察各项测试指标在其连续工作数小时后是否保持稳定,可以每隔一小时测试一次;

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