效收集立体角小,信号强度较低。尤其是样品中背向探测器的那些区域产生的背散射电子,因无法到达测器而不能被接收。所以利用闪烁体计数器接收背散射电子信号时.只适合于表面平整的样品,实验前样品表面必须抛光而不需腐蚀。
四 实验报告要求
1 简述扫描电镜的基本结构及特点。
2 举例说明扫描电镜表面形貌衬度和原子序数衬度的应用。