同一Eo,不同Take-off角，分布情况不一样酷塞目北京办公室 驰奔

4、背散射电子图像反差机理酷塞目北京办公室 驰奔

背散射电子信号 + 高灵敏背散射电子探测器 + 电子束扫描作用= 二维图像

1）、背散射电子图像的成分（平均原子序数）反差： 酷塞目北京办公室 驰奔

图像中，平均原子序数高的部位亮，原子序数低的部位暗 酷塞目北京办公室 驰奔

当样品中不同区域平均原子序数Z1、Z2原子序数接近，则图像反差很低；当Z1、Z2原子序数相差远，则图像反差很高。

背散射图像对于获得样品高分辨成分（原子序数）分布像和快速区分相的个数，非常有用，

背散射图像经常和 EDS点分析配套使用。酷塞目北京办公室 驰奔 酷塞目北京办公室 驰奔

背散射只能区分平均原子序数不同的相，无法对相的成分鉴定。 酷塞目北京办公室 驰奔 酷塞目北京办公室 驰奔

样品表面越光滑，对于原子序数反差判断是越好，原子序数反差随着样品倾斜角度的增大而减小。

2）、背散射电子图像中的形貌反差：背散射电子反射率随电子束和样品表面间的入射角的变化而有规律变化，因此形成了与样品表面几何形状相关的形貌反差。但由于背散射出射深度深，发射区域相对SE很大，空间分辨率相对SE低的多，很大程度上，反映亚表面的形貌。

另外，背散射电子强度的空间分布与表面形貌关系很大，因此探测器所接收的信号随角度变化（信号取出角度不同），接收的效率明显不同，产生阴影效应。 酷塞目北京办公室 驰奔

较低的加速电压，例如10kv，可以获得较高空间分辨率的背散射电子图像。

二次电子图像和背散射电子图像比较酷塞目北京办公室 驰奔

二次电子像成分反差很弱，对充电效应敏感 背散射电子像成分反差强，对充电效应不敏感 酷塞目北京办公室 驰奔

为了利用二次电子和背散射电子各自优势，和弥补各自缺憾，扫描电镜一般可实

现两个探测器同时采集，可各自成像，对照观察，也可进行信号混合成像。实现样品形貌和成分相分布的最佳结合。酷塞目北京办公室 驰奔 三、样品电流:酷塞目北京办公室 驰奔

样品电流 Isc=Ib-Ibs-Ise 酷塞目北京办公室 驰奔 Ib--入射电子束电流

Ibs--背散射电子电流酷塞目北京办公室 驰奔 Ise--二次电子电流酷塞目北京办公室 驰奔

图像反差机制：如果在样品上偏置一个50v偏压，则二次电子无法逃离样品，只能形成样品电流。这种情况下，样品电流图像正好是背散射电子图像的反相，如果信号反向，就如同背散射图像一样，可以用来反映样品表面的原子序数反差和形貌反差，而且由于不存在轨迹反差分量，形貌反差要优于背散射电子像。酷塞目北京办公室 驰奔

四、特征能量X-ray酷塞目北京办公室 驰奔

1、定义：特征x-ray：是由高能电子束与原子内层电子发生非弹性散射，把内层电子激发到外层，这时内层电子空缺由外层电子补偿。外层电子跃迁到内层时释放特定能量，大部分这个特定能量以X-ray形式从样品发射出。一些特定能量被原子吸收，激发原子另外外层电子（俄歇电子）以额外的能量发射。 酷塞目北京办公室 驰奔

特征X-ray 波长与能量关系 ：λ = 12.398/E 酷塞目北京办公室 驰奔 特征能量与原子序数的关系：莫赛来定律：ν=C(Z-σ)2 ，特征X射线频率与发射X射线的原子的原子序数平方之间存在线性关系。

X-ray 产额：引起x射线发射的电离总数。 对于某个壳层，产额随原子的原子序数增加而增加。

过压比：过压比为4的电子对x-ray的产生贡献最大 酷塞目北京办公室 驰奔

2、特征X-ray的出射深度：X-ray发生非弹性散射的几率很低，因此特征x-ray信号在整个作用区内是个平均量。

3、连续x-ray，和特征X-ray的产额：酷塞目北京办公室 驰奔

1）、连续X射线：如果入射电子和原子核发生非弹性散射，则入射电子将连续地损失其能量，

这种能量损失除了以热的形式释放出来外，也可能以光量子（X射线）的形式释放出，并有如下关系存在：

ΔE＝hν＝hc/λ酷塞目北京办公室 驰奔

式中ΔE－非弹性散射的能量损失；酷塞目北京办公室 驰奔