扫描电子显微镜之--二次电子SE背散射电子BSE特征X射线样品电流俄歇电子EBIC阴极荧光EBSD等信号原理 下载本文

h-普朗克常数;酷塞目北京办公室 驰奔 c-光速;

ν和λ-依次是X射线的频率和波长。酷塞目北京办公室 驰奔

因为ΔE是一个连续变量,相应转变为X射线的波长也是连续可变的,结果发射出无特征波长的连续X射线,这种现象称为韧致辐射(Bremsstrahlung)。酷塞目北京办公室 驰奔

连续谱的强度,是靶材的原子序数和电子束能量的函数:Icm ~ iZ[(λ/λmin)-1 ] ~ i Z(Eo-E)/E

Icm 连续X-RAY的强度,随电子束流 i 的增加而增加。 随平均原子序数的增加而增加 随着其能量E的增加而下降 随着电子束的能量Eo的增加而增加

连续X射线强度变化曲线。 波长与其能量成反比 连续X射线形成各种被测量的特征x-RAY的背底,所以连续谱辐射的高度对确定某个元素的最小检测限起着重要作用。

2)、特征X-RAY的产额ωx 酷塞目北京办公室 驰奔

K、L、M系特征X射线产额。公室 驰奔

由于M系的荧光产额太低,主要用K系和L系特征能量。前用K,35以后用L.

35号元素以 酷塞目北京办

4-100号元素 K、L、M线系x-ray特征能量曲线。酷塞目北京办公室 驰奔

3)、X射线的吸收:样品中的原子吸收了X射线,发生光电过程,发射光电子。减少了特征X-RAY的强度。

4)、X射线引起的荧光:光电过程中使得样品原子处于激发电离态,经过去激发过程,又出射新的特征x射线和连续X射线的二次辐射。 二次辐射增加了特征X-RAY的强度

4、特征X射线探测及机制:从电子探针的发展历史中,很容易了解到。 1)、特征X-RAY的能量和波长是元素特有的 。莫塞莱定率

2)、通过测量特征元素的波长(WDS),或者能量(EDS) ,可以对样品中的化学元素进行定性。