EBIC成像原理图 酷塞目北京办公室 驰奔
扫描电镜 EBIC图像
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八、电声信号: 该信号在扫描电子显微镜上的应用是我国首创。（以上海硅酸盐研究所 殷庆瑞教授为主；另外南京大学声学所也进行了大量理论和实验研究。总体上处于非商品化发展阶段）酷塞目北京办公室 驰奔
扫描电声显微镜（SEAM）是由电子光学、电声和压电传感、弱信号检测、图像处理以及计算机等多项高新技术构成的一种高分辨率声学显微成像仪器。它兼具电子显微术高分辨率和声学显微术非破坏性内部成像的特点，可原位同时观察电子显微像和声学显微像。此显微镜可用于金属和陶瓷材料的应力分析，半导体材料和电子元器件的位错和界面缺陷显示，信息功能材料的电畴、磁畴及其随外场变化的动态行为观察，多晶材料（薄膜、涂层）晶粒、晶界以及内部缺陷的
检测。酷塞目北京办公室 驰奔
扫描电声成像系统有力地增强和扩展了普通扫描电镜的功能，是一种适合于科研、教学和工业应用的新型显微成像技术，可方便地装备在其它类型的扫描电镜上。扫描电声是把电子显微术和声学显微术集成为一体的一种新型的显微成像方法，具有电子显微术高分辨率和声学显微术内部成像的特点，工作模式非常类似于普通的SEM。酷塞目北京办公室 驰奔
成果技术指标： 酷塞目北京办公室 驰奔 工作频率：20kHz - 1MHz酷塞目北京办公室 驰奔 * 工作电压：小于等于50V酷塞目北京办公室 驰奔
* 分辨率：横向小于等于0.3um，纵向小于等于0.16um酷塞目北京办公室 驰奔
* 实时观察二次电子像和分层电声像酷塞目北京办公室 驰奔
电声显微镜及其相关器件和材料已在国内有关研究单位和工业部门得到应用，并出口美国、德国、日本、荷兰、新加坡、台湾等国家和地区，取得了良好的经济效益和社会效益，该项目将理论研究、材料制备、器件设计、仪器研制与实际应用相结合，发明了拥有自主知识产权的实用化新仪器，推动了相关材料、器件及显微成像技术领域的发展。酷塞目北京办公室 驰奔
扫描电声显微镜（SEAM）是一种多功能、高分辨率显微成像仪器。该成果获得了具有自主知识产权的四项国家发明专利和一项国外发明专利，是国内外至今唯一实现商品化的电声显微镜，总体技术指标和功能处于国际先进水平。其中电声图像的横向分辨率、纵向分辨率、探测器灵敏度和图像质量处于国际领先。