XINYU UNIVERSITY
毕业设计（论文）
（2013届）
题 目 多晶硅太阳能电池制备工艺
二级学院 新能源科学与工程学院
专 业 光伏材料加工及其应用
班 级 10级光伏材料（一）班 学 号 1003020138 学生姓名 纪 涛 指导教师 胡 耐 根
多晶硅太阳能电池制备工艺
目录
摘要?????????????????????????????1 Abstract???????????????????????????2 第 1 章 绪论?????????????????????????3 第 2 章 多晶硅太阳电池制备工艺????????????????5 2.1 一次清洗工序???????????????????????5 2.1.1 一次清洗工序的原理??????????????????5 2.1.2 一次清洗工序的工艺参数????????????????5 2.2 扩散工序?????????????????????????6 2.2.1 扩散原理???????????????????????6 2.2.2 扩散工艺???????????????????????7 2.3 湿法刻蚀的工序及其原理??????????????????8 2.4 等离子体增强化学气相沉积工序???????????????10 2.4.1 等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的原理???????10 2.5 丝网印刷工序及其工作原理?????????????????11 2.6 测试分选工序及太阳能测试仪的原理 ???????????? 13 2.7 小结???????????????????????????15 第 3 章 多晶硅太阳能电池行业展望???????????????16 参考文献(References) ?????????????????????17 致谢?????????????????????????????18
多晶硅太阳能电池制备工艺
多晶硅太阳能电池制备工艺
摘 要
长期以来随着能源危机的日益突出，传统能源已不能满足能源结构的需求，然而光伏发电技术被认为是解决能源衰竭和环境危机的主要途径。而多晶硅太阳能电池份额占据光伏市场的绝大部分，并呈现逐年上升趋势，有极大的发展潜力。
本文在阐明了国内外光伏市场以及光伏技术发展趋势的基础上，对多晶硅太阳能电池的结构及其特性简述，同时对其制备工艺：一次清洗→扩散→湿法刻蚀去背结→PECVD(等离子体增强化学气相沉积)→丝网印刷→ 烧结→测试分选做简要介绍。
关键词：多晶硅太阳能电池；光伏技术；光伏工艺；
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