300mm单晶硅提拉法生长数值模拟案例报告

图14 热应力分布

可以计算得到O、C等杂质原子在晶体和熔体中的分布情况,下图分别显示的是O原子在晶体和熔体的中分布情况。

图15 O原子在晶体中的分布

图16 O原子在熔体中的分布

下图显示的是电势分布以及熔体内的洛伦兹力的分布情况。

图17 电势分布

图18 电势分布和洛伦兹力分布

三、结论

采用FEMAG/CZ软件,分析考虑磁场的300mm单晶硅提拉法生长数值模拟,: 1. 能够考虑液相和气相内部的辐射、传导和对流的全局传热模拟,全局意味着考虑到所有的单晶炉单元,并且模拟结果是相互联系的;

2. 很容易控制的液流和气流计算的流体动力学模型; 3. 精确地预测晶体前沿生长形状;

4. 全自动化的动态模拟工具,能自动模拟从融化后的稳定、引晶、放肩、转肩、等径生长、收尾及后冷的完整单晶生长过程;

5. 预测晶体生长和冷却的热弹性应力、晶体生长的点缺陷、微缺陷及液相的氧分布等;

6. 优化单晶炉热场温度分布的工具;

使用FEAMG/CZ数值模拟工具,能够更好的了解结晶过程细节,预测晶体生长过程,优化晶体生长炉和生长工艺。

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