直拉硅单晶作业指导书
一、目的：
规范单晶炉运行过程的操作，确保拉晶过程在预定工艺要求下进行，从而确保硅棒质量。 二、范围：
直拉单晶炉。 三、职责：
班长：负责当班期间单晶炉拉晶过程中安全运行状态及紧急事故的处理。 四、定义（无）
五、作业内容：
5.1抽真空
5.1.1启动前的准备工作
（1）检查泵体内真空油的使用时间。如超过规定时间须更换。操作如下： a.确认主泵球阀已关闭，打开泵体油路上的两只开关，将泵体内的脏油放掉； b.打开泵体上的油封盖，将泵体内脏油用抹布擦洗干净； c.将低压油缸的滤油器清洗干净；
d.将油镜玻璃及油封盖的密封部位擦净，装上油封盖，螺丝要均匀拧紧防止漏油； e．加入新的真空油；
f.清洁真空泵表面的卫生。 5.1.2启动真空泵
a.采用多次点启动的方法，等转动灵活后再按下启动按钮；
b.泵运转约5分钟左右各方面均正常后，再缓慢打开主泵球阀对炉子进行预抽真空，注意主泵球阀必须缓慢打开；
c.观察炉内压力，直到显示压力低于要求达到的压力或更低； 5.2测漏
5.2.1当炉子的真空度达到规定值时，关闭真空管道上的主泵球阀。
5.2.2观察真空计上的压力数值，测定压力变化。漏气速率小于0.2pa/分或小于每分钟1mTorr为合格。
5.2.3检漏结束后缓慢打开真空管道上的主泵球阀继续抽一段时间真空，直至真空度低于检漏时的真空度。
5.3化料
5.3.1正常时打开氩气阀门，流量控制在40-60L/min，炉内压力维持在10T或1000pa左右。
5.3.2启动加热电源开始加热。
5.3.3在规定的时间内从低到高缓慢提升功率，直到化料要求功率。熔料功率和时间根据投料量和热场大小来定：
a.18“热场投料55-60kg，熔料功率85-95kw。约4-5小时。 b.20“热场投料80-90kg，熔料功率90-100kw。约5-6小时。 c.22“热场投料110-120kg，熔料功率95-105kw。约6-8小时。
5.3.4熔料过程中，硅料熔化后石英坩埚内料会下降，这时须将坩埚位置上升至适当位置（加热器温度最高点位于中心位置）。
5.3.5在表面硅料全部熔化后，不可将坩埚位置升得太高，须保证液面至导流筒的距离有4-5cm，防止石英埚底部硅料翻出时碰到导流筒及导流筒粘硅。
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5.3.6在熔料时，如发现有液硅表面漂浮着杂质，在硅料未完全熔化时下降籽晶，将杂质吊出。
5.3.7注意事项
a.必须时刻注意观察炉内情况，以防导流筒粘硅、石英坩埚粘硅、漏硅、石英埚变形和塌料时溅硅、跳硅，化完后的液面有杂质漂浮等一些异常情况的出现，应有效及时的处理并记录。
b.时刻注意加热电源、电压是否正常。 5.3.8常见异常处理 a.挂边、搭桥
定义：挂边指硅料绝大部分熔完后硅熔体上面坩埚边上粘有硅块的现象。 搭桥指硅料将熔完时，部分硅块在硅熔体上面形成一座“桥”。 产生原因：产生挂边和搭桥一是坩埚内多晶硅装的不合要求，二是熔硅时坩埚位置太高，过早的提高坩埚位置和过早的降温都容易产生挂边和搭桥。
处理方法：首先降低坩埚位置，快速升高温度，一旦挂边和搭桥消失，快速降温，快速升高坩埚，避免发生硅跳。
b.硅跳
定义：所谓“硅跳”，指熔硅在坩埚中沸腾现象。
产生原因：有三种情况可以产生硅跳：多晶硅中有氧气夹层或封闭的气泡；坩埚底有封闭气泡和熔硅温度过高。
处理方法：适当降低温度控制。 5.4温度稳定
5.4.1在料即将熔完时，及时将功率降至缩颈功率，并将氩气进气设定为20-40L/min。 5.4.2将籽晶分段下降预热，在接近液面2-3cm处预热一段时间。籽晶下降必须预热，不然会有由于籽晶由低温区到高温区，由固态