在半导体中同时存在施主和受主时,施主能级上的电子由于能量高于受主能级,因而首先跃迁到受主能级上,从而使它们提供载流子的能力抵消,这种效应即为杂质补偿。
2.1 杂质电离能
杂质电离能是杂质电离所需的最少能量,施主型杂质的电离能等于导带底与杂质能级之差,受主型杂质的电离能等于杂质能级与价带顶之差。
2.1 施主能级及其特征
施主未电离时,在饱和共价键外还有一个电子被施主杂质所束缚,该束缚态所对应的能级称为施主能级。 特征:
①施主杂质电离,导带中出现 施主提供的导电电子; ②电子浓度大于空穴浓度, 即 n > p 。
2.1 受主能级及其特征
受主杂质电离后所接受的电子被束缚在原来的空状态上,该束缚态所对应的能级称为受主能级。 特征:
①受主杂质电离,价带中出现 受主提供的导电空穴;
②空穴浓度大于电子浓度, 即 p > n 。
浅能级杂质的作用: (1)改变半导体的电阻率 (2)决定半导体的导电类型。
深能级杂质的特点和作用:
(1)不容易电离,对载流子浓度影响不大
(2)一般会产生多重能级,甚至既产生施主能级也产生受主能级。 (3)能起到复合中心作用,使少数载流子寿命降低。 (4)深能级杂质电离后成为带电中心,对载流子起散射作用, 使载流子迁移率减少,导电性能下降。
第三章 半导体载流子分布
3.1. 若半导体导带底附近的等能面在k空间是中心位于原点的球面,证明导带底状态密度函数的表达式为
?2m?g(E)?4?Vc*32hn3?E?Ec?12
答案:
k空间中,量子态密度是2V,所以,在能量E到E+dE之间的量子态数为
dZ?2V?4?k2dk (1)
根据题意可知
E(k)?Ec?h2k22mn? (2)
由(1)、(2)两式可得
dZ?4?V?2m?n?3/23h(E?Ec)1/2dE (3)
由(3)式可得状态密度函数的表达式
(2mn)3/2dZ1/2gc(E)??4?V(E?E) (4分) c3dEh
??2m?3.1 已知半导体导带底的状态密度函数的表达式为g(E)?4?Vnc*32h3?E?Ec?12
??? ?试证明非简并半导体导带中电子浓度为n0
证明:对于非简并半导体导,由于
?2?m?2nk0Th3*?32?Ec?EFexp???kT0? dN?fB(E)gc(E)dE (3分)
将分布函数和状态密度函数的表达式代入上式得
?2m?dN?4?Vn*32h3?E?EFexp???kT0??12???E?EdE c??因此电子浓度微分表达式为
2mndNdn??4?Vh3则
?*32??E?EFexp???kT0??12???E?EdE (3分) c??
n0??Ec?Ec?2m?4?n*32h3?E?EFexp???kT0??12???E?EdE c??由于导带顶电子分布几率可近似为零,上式积分上限可视为无穷大,则积分可得
n0
3.2 费米能级
?2?m?2nk0Th3*?32?Ec?EFexp???kT0???? (4分) ?费米能级不一定是系统中的一个真正的能级,它是费米分布函数中的一个参量,具有能量的单位,所以被称为费米能级。它标志着系统的电子填充水平,其大小等于增加或减少一个电子系统自由能的变化量。
3.2 以施主杂质电离90%作为强电离的标准,求掺砷的n型硅在300K时,强电离区的掺
10?319?3杂浓度上限。(?ED?0.049eV,Nc?2.8?10cm,ni?1.5?10cm,
fD(E)?1)
??E?EF11?exp?D?2?k0T?解:
随着掺杂浓度的增高,杂质的电离度下降。因此,百分之九十电离时对应的掺杂浓度就是强电离区掺杂浓度的上限。此时
nD??1?fD(E)?ND??ND?0.9ND
?ED?EF?1?2exp???kT??0??由此解得ED-EF=0.075eV,而EC-ED=0.049eV,所以EC-EF=0.124eV,则
?EF?EC?17?3?n0?NCexp??2.38?10cm?0.9ND ?kT?0??由此得,强电离区的上限掺杂浓度为2.6?10cm。
3.2 以受主杂质电离90%作为强电离的标准,求掺硼的p型硅在300K时,强电离区的掺
19?310?3杂浓度上限。(ΔEA=0.045eV,Nc?1.1?10cm,ni?1.5?10cm,
17?3fA(E)?1)
?E?EA?11?exp?F?2kT0??解:
随着掺杂浓度的增高,杂质的电离度下降。因此,百分之九十电离时对应的掺杂浓度就是强电离区掺杂浓度的上限。此时
pA???1?fA(E)?NA?NA?0.9NA
?E?EA?1?2exp??F?kT0??由此解得EF-EA=0.075eV,而EA-EV=0.045eV,所以EF-EV=0.12eV,则
?Ev?EFp0?Nvexp??k0T?17?3??1.1?10cm?0.9NA ?17?3由此得,强电离区的上限掺杂浓度为1.2?10cm。
3.6 简并半导体
当费米能级位于禁带之中且远离价带顶和导带底时,电子和空穴浓度均不很高,处理它们分布问题时可不考虑包利原理的约束,因此可用波尔兹曼分布代替费米分布来处理在流子浓度问题,这样的半导体被称为非简并半导体。反之则只能用非米分布来处理载流子浓度问题,这种半导体为简并半导体。