填空题：
1．实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（极高的硬度和耐磨性）、（刃口及其锋利）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。
2．精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（液体静压轴承）和（空气静压轴承）。
3．金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（因晶体结构不同而对激光放射形成不同的衍射图像）进行的。
4．电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（介质电离击穿）、（ 介质热分解、电极材料熔化、气化）、（蚀除物抛出）和（间隙介质电离）四个阶段。 5．超精密加工机床的关键部件主要有：（精密主轴部件）、（导轨 部件 ）和（进给驱动系统）等。
5 超精密加工机床的关键部件主要有：（精密主轴部件）、（导轨 部件 ）和（进给驱动系统）等。
6．电火花加工粗加工时工件常接（负 ）极，精加工时工件常接（ 正 ）极；线切割加工时工件接（正 ）极；电解加工时工件接（正 ）极；电解磨削时工件接（ 正）极；电镀时工件接（ 负 ）极。
7.电子束加工是在（真空 ）条件下，利用（ 聚焦后能量密度极高、速度极高的电子）对工件进行加工的方法。 8．精密和超精密磨料加工分为（ 固结磨料 ）加工和（游离磨料 ）加工两大类。 9．电火花型腔加工时使用最广泛的工具电极材料是：（纯铜）和（石墨）。 10．影响电火花加工精度的主要因素有：（放电间隙的大小）及其一致性、（ 工具电极的损耗）及其稳定性和（ 二次放电现象）。
11．超精密机床主轴的驱动方式主要有电动机通过带传动驱动、（电动机通过柔性联轴器驱动 ）和（ 采用内装式同轴电动机驱动 ）三种。
12．超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指（ 恒温 ）、（ 恒湿 ）、（防振 ）和（ 超净 ）四个方面的条件。 13．目前金刚石刀具主要用于（铝、铜及其合金等软金属 ）材料的精密与超精密加工，而对于（ 黑色金属 ）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。
14．电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（穿孔成形加工 ）、电火花（ 线切割加工 ）、电火花（ 磨削加工 ）、电火花（展成加工 ）、电火花表面强化和刻字等类型。
15．若工件为铁，工具为铜，在NaCl电解液中进行电解加工时，阳极溶解生成（Fe(OH)2 ），阴极生成（H2 ），电解液内最终生成物是Fe（OH）3 。 16．电火花型腔加工的工艺方法有：（单电极平动法 ）、（多电极更换法 ）、（ 分解电极法 ）、简单电极数控创成法等。
17. 超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（T形布局 ）、（ 十字形布局 ）、（ R-θ布局 ）、（ 立式结构布局 ）等。 18．实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（ 超精密加工机理与工艺方法 ）、（ 超精密加工机床设备 ）、（ 超精密加工工具 ）、（ 精密测量和误差补偿 ）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。 19．激光加工设备主要包括电源、（激光器 ）、（ 光学系统 ）、（ 机械系统 ）、控制系统、冷却系统等部分。 20．常用的超声变幅杆有（ 圆锥形 ）、（指数形 ）及（阶梯形 ）三种形式。
21．超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（ 很高的稳定性 ）、（ 耐磨性 ）和（ 抗振性 ）。
22．精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（ 液体静压轴承 ）和（ 空气静压轴承 ）。
23．金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（因晶体结构不同而对