PIE工程师必备

答：收集并分析各工艺区间所产生的缺陷对产品良率的影响以决定改善良率的可

能途径。

100. yield loss analysis的功能为何？

答：① 找出对良率影响最大的工艺步骤。 ② 经由killing ratio的计算来找出对良率影响最大的缺陷种类。

③ 评估现阶段可达成的最高良率。

101. 如何计算killing ratio?

答：藉由defect map与yield map的迭图与公式的运算，可算出某种缺陷对良率

的杀伤力。