传感器与传感器技术(何道清)课后答案

?2 ?2.55?V? 4—7 一只电容位移传感器如习题图4-7所示,由四块置于空气中的平行平板组成。板A、C和D是固定极板;板B是活动极板,其厚度为t,它与固定极板的间距为d。B、C和D极板的长度均为a,A板的长度为2a,各板宽度为b。忽略板C和D的间隙及各板的边缘效应,试推导活动极板刀从中间位置移动x=±a/2时电容CAC和CAD的表达式(x=0时为对称位置)。

?R?R?10?10?2?10??2?10?10?2?10?2f446462R?R?2Rf?RfUif?C6?36?106?1.77?10?12

习题图4-7

解:参见习题图4-7知

CAC是CAB与CBC串联,CAD是CAB与CBD串联。 当动极板向左位移a/2时,完全与C极板相对(见题解4-7图),此时

CAB=CBC=ε0ab/d

CAC=CAB/2=CBC/2=ε0ab/2d; CAD=ε0ab/(2d+t)。

题解4-7图

同理,当动极板向右移a/2时,与上相仿(见题解4-7图),有

CAC =ε0ab/(2d+t);CAD=ε0ab/2d

4—8 已知平板电容传感器极板间介质为空气,极板面积S=a×a=(2?2)cm2,间隙d0=0.1mm。求:传感器的初始电容值;若由于装配关系,使传感器极板一侧间隙d0,而另一侧间隙为d0+b(b=0.01mm),此时传感器的电容值。 解:初始电容

当装配不平衡时(见题解4-8图(a)),可取其平均间隙计算(见题解4-8图(b))

=0.1+0.01/2=0.105(mm)

则其电容为

8.85?10?12?2?2?10?4C??d0.105?10?3

d?(d0?b)bd?0?d0?228.85?10?12?2?2?10?4C0???d0d00.1?10?3?35.4?10?12(F)?35.4pF?S?0S?0S =33.7×10-12(F)=33.7pF

(a) (b)

(c)

题解4-8图 或利用积分法计算传感器的电容,(见题解4-8图(c)),在位置x处,取宽度为dx、长度为a的两个狭窄长条之间的微电容为

dC??0adxd0?bx/a所以,总电容为

C??dC???b?ln?1??d??00d?bx/ab00??8.85?10?12?(2?10?2)2?0.01??12?ln?1???33.8?10(F)?33.8pF?30.1?0.01?10?

Ca

?0adx??0a2 两种计算方法结果接近,但积分法更为严密。

4-14 习题图4-14(a)所示差动式同心圆筒柱形电容传感器,其可动内电极圆筒外经d=9.8mm,固定电极外圆筒内经D=10mm,初始平衡时,上、下电容器电极覆盖长度L1=L2=L0=2mm,电极间为空气介质。试求:

(1)初始状态时电容器C1、C2的值;

(2)当将其接入习题图4-14(b)所示差动变压器电桥电路,供桥电压E=10 V(交流),若传感器工作时可动电极筒最大位移?x= ?0.2mm,电桥输出电压的最大变化范围为多少?

(a) (b) 习题图4-14 解 (1)初始状态时 2??0L02???8.85?10?12?2?10?3C1?C2?C0??D10lnlnd9.8?12?5.51?10(F)?5.51pF (2)当动电极筒位移?x= +0.2mm(向上)时,L1=2+0.2=2.2mm,L2=2?0.2=1.8mm,则 2??0L12???8.85?10?12?2.2?10?3C1???6.06?10?12(F)?6.06pFD10lnlnd9.8 ?12?32???8.85?10?1.8?10C2??4.96?10?12(F)?4.96pF10ln9.8 U?EC1?C2106.06?4.96????0.5(V)2C1?C226.06?4.96差动变压器电桥输出为 同理,当动电极筒位移?x= ?0.2mm(向下)时,L1=2?0.2=1.8mm,L2=2+0.2=2.2mm,则 差动变压器电桥输出为 U?C1?4.96pF C2?6.06pF 因此,当传感器可动电极筒最大位移?x= ?0.2mm,电桥输出电压的最大变化范围为?0.5V。 第5章 压电式传感器

5—3 有一压电晶体,其面积为20mm2,厚度为10mm,当受到压力p=10MPa作用时,求产生的电荷量及输出电压: (1)零度X切的纵向石英晶体;

EC1?C2104.96?6.06?????0.5(V)2C1?C226.06?4.96 (2)利用纵向效应的BaTiO3。 解:由题意知,压电晶体受力为 F=pS=10×106×20×10-6=200(N) (1)0°X切割石英晶体,εr=4.5,d11=2.31×10?12C/N 等效电容 d =7.97×10?14 (F) 受力F产生电荷 Q=d11F=2.31×10?12×200=462×10?2(C)=462pC 输出电压 Q462?10?12Ua???5.796?103?V??14Ca7.97?10 Ca??0?rS8.85?10?12?4.5?20?10?6?10?10?3 (2)利用纵向效应的BaTiO3,εr=1900,d33=191×10?12C/N 等效电容 Ca??0?rSd =33.6×10-12(F)=33.6(pF) 受力F产生电荷 Q=d33F=191×10?12×200=38200×10?12 (C)=3.82×10?8C 输出电压 Q3.82?10?8Ua???1.137?103?V??12Ca33.6?10 8.85?10?12?1900?20?10?6?10?10?3 5—4 某压电晶体的电容为1000pF,kq=2.5C/cm,电缆电容CC=3000pF,示波器的输入阻抗为1MΩ和并联电容为50pF,求: (1)压电晶体的电压灵敏度足Ku; (2)测量系统的高频响应; (3)如系统允许的测量幅值误差为5%,可测最低频率是多少? (4)如频率为10Hz,允许误差为5%,用并联连接方式,电容值是多大? 解:(1) (2)高频(ω→∞)时,其响应 Ku?Kq/Ca?2.5C/cm?2.5?109V/cm1000pF kqUamd33Ku???FC?C?CCa?Cc?Ci maci 2.5C/cm8??6.17?10V/cm?12 ?1000?3000?50??10F (3)系统的谐振频率 ?n?1??1R?Ca?Cc?Ci?? K????1?247?rads?6?121?10?1000?3000?50??10 由 Uim?/?n?2Uam1???/?n? ,得 ?1??5%???/?n1???/?n?2 (取等号计算) ???n?2?0.9025?1???/?n?2? 解出 (ω/ωn)2=9.2564 ? ω/ωn=3.0424 ω=3.0424ωn=3.0424×247=751.5(rad/s) f=ω/2π=751.5/2π=119.6(Hz) (4)由上面知,当?≤5%时,ω/ωn=3.0424 当使用频率f=10Hz时,即ω=2πf=2π×10=20π(rad/s)时 ωn=ω/3.0424=20π/3.0424=20.65(rad/s) 又由ωn=1/RC,则 C=1/ωnR=1/(20.65×1×106)=4.84×10-8(F)=4.84?104pF 5—5 分析压电加速度传感器的频率响应特性。若测量电路为电压前量放大器C总=1000pF,R总=500MΩ;传感器固有频率f0=30kHz,阻尼比ζ=0.5,求幅值误差在2%以内的使用频率范围。 解:压电式加速度的上限截止频率由传感器本身的频率特性决定,根据题意 ??1?0.9025?0.9025???n?2?1???/????4?22nn42??/?n??1?2%2(取等号计算) 则 1+(ω/ωn)﹣2(ω/ωn) +4×0.5(ω/ωn)2=0.96 (ω/ωn)4 ﹣(ω/ωn)2 +0.04=0 解出 (ω/ωn)2 =0.042或(ω/ωn)2 =0.96(舍去) 所以 ω/ωn =0.205 或?0.205(舍去) ?=0.205?n 22?1???/????4?222??/?n?2?1/1.02

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