微波等离子体
? 微波等离子体反应器特点：
微波：为交流能量（信号），通过波导传输，每一种波导
具有一定的特征阻抗
（射频传输线理论）
等离子体的反应器：本质上是具有一定阻抗的负载。 微波等离子体工作要求： 波导特征阻抗=等离子体负载
阻抗。
微波反射波能量将至最低。
? 微波等离子体反应器发展：
小尺寸共振腔---->表面波长细等离子体--->大面
积（体积）表面波等离子体。
? 微波等离子体反应器结构： ⊙单模谐振腔
谐振腔尺寸: R??,d??（谐振条件）
阻抗匹配: 好，可以不设置附加匹配。 激励电场
单模（单一本征模） 方向：图中电场沿轴向。
状态：驻波
缺点：体积小（？）
电场不均匀-----〉等离子体空间均匀性差。
应用：放电灯，光谱分析。
石英管 微波源 同轴传输线 同轴耦合天线 谐振条件：R??,d??
⊙多模腔
谐振腔尺寸: R???;d???（非谐振） 阻抗匹配: 差，需要附加匹配。
优点：电场较均匀-----〉等离子体空间均匀性好。
⊙表面波等离子体（surface microwave plasma,SWP）源
尺寸: R??（谐振条件），轴向尺寸没有限制
阻抗匹配: 需要设置附加匹配。 激励电场
单模或多模（单一本征模）
状态：行波 优点：大体积，细长 缺点：面积小
应用：气体反应（甲烷--->乙炔），有害气体处理