2017中科院固体表面物理化学第三章复习

第三章 固体表面研究的基础试验方法

表面科学,是在原子水平上对表面的反映、现象进行研究 ? 表面检测

几何结构的检测:原子重排,吸附位置,键角,键长 化学成份的检测:元素及其深度

理化性能的检测:氧化态,化学、电子及机械性能 ? 测量技术要求

1、区分表面和体相,要求所用到的技术必须是表面灵敏的; 2、仪器灵敏度非常高;

3、要测量无污染表面,必须在超真空条件下进行; 4、必须有信号载体; 5、样品表面可控

? 信号载体的探针包括:

电子、离子、光子、中性粒子、热、电场、磁场等 ? 现代表面分析技术的分类

按探测粒子或发射粒子分类:电子谱,光谱,离子谱,光电子谱 按用途分类:组分分析,结构分析,电子态分析,原子态分析

? 为什么要真空?

无碰撞条件;维持清洁表面

? 一、俄歇电子能谱AES(Auger Electron Spectroscopy)

? 俄歇过程:

俄歇电子在低原子(Z<15)的无辐射内部重排发射出来,其步骤为:

1、入射电子撞击原子,使其离子化,然后发射出内部电子离开芯能级; 2、高能电子掉入芯能级;

3、第二步中产生的能量激发了另一个电子,一般来自于同一壳层 ? 俄歇电子动能:

KE=E1s-E2p-E2p,与入射电子能量无关,只与电子能级能量差有关。由于不同原子的轨道能量不一样,俄歇电子动能不一样,因此能做定性分析。 ? 俄歇电子标记

? K系列俄歇跃迁:

同一空穴可以产生不同俄歇跃迁,当初始空穴在K能级时,就出现K系列跃迁,如KLL,KLM,KMN ? 俄歇群:

同一主壳层标记的次壳层不同的俄歇跃迁,如KL1L1,KL1L2,KL1L3,KL2L3 ? C-K(Coster-Kronig)跃迁:

初始空穴和填充电子处于同一主壳层的不同次壳层,如LLM,MMN。 特点:跃迁速度非常快 ? 超C-K跃迁:

三个能级处于同一主壳层;如:LLL,MMM (H、He无俄歇跃迁,Li有)

一般:Z<15: KLL; Z: 16~41, LMM; Z>42, MNN ? 能量分析器:

用来测量从样品中发射出来的电子的能量分布,分辨率(δ=E/ΔE1/2,ΔE1/2为能量的半高宽) ? 柱偏转分析器(127°-CDA):

半球形分析器(CHA/SDA);平面镜分析器(PMA);筒镜分析器(CMA) ? 检测器:

通道式电子倍增管;打拿极式倍增管

? 能量分布涉及4个电子:原始入射电子(P),激发的二次电子(s),跃迁

电子(t),俄歇电子(若跃迁电子或俄歇电子是价带电子,谱线宽化) ? 背景分析

碰撞能量损失、二次电子损失。产生背底 ? X-射线荧光

去激发过程中,产生俄歇电子,或X-射线荧光,其几率和为1。 当Z=33时,两者几率相等 ? 平均逃逸深度和平均自由程:

俄歇电子能够逃出样品的数量(N)与取样深度(z)以及俄歇电子的平均自由程(λ)有关:

N0:总的Auger电子数,(z=3λ时,N/N0=5%)

? ?

?

?

当入射电子能量/轨道电子能量=2.7时,电离几率最大

化学位移:元素所处化学环境的变化导致俄歇电子能量位移 (电负性越大,位移越大,俄歇电子能量越低)

AES应用:1、表面成分分析(可以用作表面元素种类、化学价分析,检测表面是否清洁);2、化学环境分析;3、深度剖析(给出样品不同深度原子浓度分布情况,离子束);4、界面分析(薄膜界面元素分布和原子浓度变化);5、金属薄膜生长模式分析;6、微区成像分析 电子束在表面扫描:表平面元素分布情况 离子束溅射刻蚀:样品不同深度元素分布信息

化学环境差异,峰位置移动,峰型变化,得到化学信息 定性分析(能量)

总结:对照,比较,再选取,确定 ? 定量分析(数量)

标样法:I=kN 灵敏因子分析法: 灵敏因子:在给定的试验条件下,各种元素的特征俄歇跃迁在经历了样品内部各过程后,俄歇电子溢出表面的几率

在灵敏因子相互独立的仪器因子相同时:不同元素的相对浓度(原子百分比):

Ci=

Ni Ii Si

= Nj Ij Sj

? Auger电子的特征能量计算

能量守恒原理:EZXY=EZ Z ?EX Z ?EY Z 经验公式: 实际计算公式:

电离截面是指原子被入射粒子电离产生空穴的几率。

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