最新整理真空退火炉工安全技术操作规程
1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。
2.合上总电源,再合上操作电源。
1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。
2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。
电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);
电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);
电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.xxxPa)；
电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0xxxPa)。
5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。
6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。
7.真空度高于0.xxxPa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度。
8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～xxxx%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)
9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。
10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。
11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。
12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID” “自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。
13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。
14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。
15.炉温高于xxxx℃时,不准放气和打开炉盖。
16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。