京东方光科技有限公司
10.8T/H 二级反渗透+EDI+抛光混床
超纯水系统及废水回收系统
设 备 方 案 书
京东方光科技有限公司 T-Module项目组
目 录
一、技术规范................................................................................................................................................ 1
1、设计要求 ..................................................................... 12、设计依据 ..................................................................... 23、系统对外界要求 ............................................................... 24、工艺流程描述 ................................................................. 3二、系统及设备技术要求 ............................................................................................................................ 4
1、各主体设备的技术要求 ......................................................... 41.1、预处理部分 ................................................................. 4
（1）原水储槽 ............................................................... 4（2）原水泵 ................................................................. 4（3）石英砂过滤器 ........................................................... 4（4）活性炭过滤器 ........................................................... 5（5）过滤水储槽 ............................................................. 7（6）RO保安过滤器 .......................................................... 71.2、RO脱盐部分 ................................................................ 7
（1）高压泵 ................................................................. 7（2）反渗透装置 ............................................................. 81.3、EDI脱盐部分 .............................................................. 10
（1）全自动电离子再生除盐装置 .............................................. 101.4、精致过滤器部分 ............................................................ 10
（1）TOC脱除器 ............................................................ 10（2）精致过滤器装置 ........................................................ 10（3）0.2μm微孔膜滤器 ..................................................... 10（3）0.1μm微孔膜滤器 ..................................................... 111.5、回水部分 .................................................................. 11
（1）UV杀菌器 ............................................................. 111.6、废水回收部分 .............................................................. 11
（1）废水箱 ................................................................ 11（2）UF进水 ............................................................... 11（3）超滤装置 .............................................................. 11
三、技术资料及工程质量 .......................................................................................................................... 11
1、技术文件资料 ................................................................ 112、设备监造检查所需要的技术资料 ................................................ 12四、仪表与控制系统.................................................................................................................................. 12
1、控制系统说明 ................................................................ 122、自动控制系统 ................................................................ 123、主要控制回路 ................................................................ 13
（1）预处理过滤器的控制 .................................................... 13（2）超滤系统的控制 ........................................................ 14（3）阻垢剂加药量控制 ...................................................... 14（4）反渗透系统(RO)控制 .................................................... 14（5）高压泵的保护系统 ...................................................... 14
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1、预处理部分 .................................................................. 16
（1）原水箱 ................................................................ 16（2）原水泵 ................................................................ 16（3）石英砂过滤器 .......................................................... 16（4）活性炭过滤器 .......................................................... 16（5）过滤器反洗泵 .......................................................... 16（6）过滤器水储槽 .......................................................... 17（7）一级反渗透增压泵 ...................................................... 17（8）加药装置 .............................................................. 17（9）5μm保安过滤器 ....................................................... 182、RO脱盐部分 ................................................................. 18
（1）1级高压泵 ............................................................ 18（2）1级RO反渗透主机 ..................................................... 18（3）一级RO产水箱 ......................................................... 19（4）2级进水泵 ............................................................ 19（5）pH调节装置 ........................................................... 19（6）保安过滤器 ............................................................ 20（7）2级高压泵 ............................................................ 20（8）2级RO反渗透主机 ..................................................... 20（9）反渗透膜清洗装置 ...................................................... 213、EDI脱盐部分 ................................................................ 21
（1）EDI给水泵 ............................................................ 21（2）EDI电再生装置 ........................................................ 22（3）纯化水箱 .............................................................. 224、纯水精致器部分 .............................................................. 22
（1）纯水输送泵（带变频器） ................................................ 22（2）TOC脱碳器 ............................................................ 23（3）一级精滤器装置 ........................................................ 23（4）二级精滤器装置 ........................................................ 23（5）0.2μm膜滤器 ......................................................... 23（6）0.1μm膜滤器 ......................................................... 24（7）UV杀菌器 ............................................................. 245、废水回收部分 ................................................................ 24
（1）废水收集箱 ............................................................ 24（2）纯水输送泵 ............................................................ 24（3）超滤装置 .............................................................. 24
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