名词解释
气浮导轨 P24：运动导轨的底平面和两侧导轨面通有压缩空气，使运动部件浮起的这种导轨形式称为气浮导轨。
非接触抛光 P47：非接触抛光是一种研磨抛光新技术，是指在抛光中工件与抛光盘互不接触，依靠抛光剂冲击工件表面，以获得加工表面完美结晶性和精确形状的抛光方法。
精密研磨 P44：精密研磨属于游离磨粒切削加工，是在刚性研具上注入磨料，在一定压力下，通过研具与工件的相对运动，借助磨粒的微切削作用，去除微量的工件材料，以达到高级几何精度和优良表面粗糙度的加工方法。
电解磨削 P156：电解磨削是出现较早、应用较为广泛的一种电化学加工方法和机械磨削复合加工方式，它比电解加工具有较好的加工精度和表面粗糙度，比机械磨削具有较高的生产率。
超声波加工 P192：超声波加工是利用工具端面做超声频振动，通过磨料悬浮液加工脆性材料的一种成形加工方法。
固结磨料加工 P38：采用通过压制烧结形成的固态磨料，如砂轮、油石、砂带等对工件进行加工。
微细加工：微细加工技术是指制造微小尺寸零件的生产技术。从广义角度来说，微细加工包含了各种传统精密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的新方法，从狭义的角度来说，微细加工主要是指半导体集成电路制造技术。
电火花加工极性效应 P58：这种单纯由于正、负极性不同而彼此电蚀量不一样的现象叫做极性效应。
激光焊接 P186：焊接过程属传导焊接，即激光辐照加热工件表面，产生的热量通过热传导向内部传递。在工件上形成一定深度的熔池，冷却凝固以后就将工件焊接完成。
离子镀膜 P213：离子镀膜加工包括溅射镀膜和离子镀两种方式。离子溅射镀膜是基于离子溅射效应的一种镀膜工艺。离子镀是在真空蒸镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术。离子镀时，工件不仅接受靶材溅射来的原子，还同时接受离子的轰击。
镜面磨削 P41：镜面磨削是属于精密磨削和超精密磨削范畴的加工。镜面磨削是指加工表面粗糙度达到Ra0.02～0.01?m、表面光泽如镜的磨削方法。
空气静压轴承 P19：在转轴和轴承瓦之间，通入压缩空气，将轴承和转轴分开，以压缩空气承受径向载荷的一种轴承形式。它具有很高的回转精度、温升小的特点。 等脉冲电源 P72：是指每个脉冲在介质击穿后所释放的单个脉冲能量相等。
电刷镀 P166：涂镀又称刷镀或无槽镀，是在金属工件表面局部快速电化学沉积金属的新技术，主要用于增大尺寸、修复零件、改善表面性能等。
电子束曝光 P209：电子束曝光是先利用低功率密度的电子束照射称为电致抗蚀剂的高分子材料，由入射电子与高分子相碰撞，使分子链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，这一步骤也称为电子束光刻。
浮动抛光 P48：浮动抛光是一种平面度极高的非接触超精密抛光方法。抛光 时抛光盘及工件高速回转，在二者之间的抛光液呈动压流体状态，并形成一层液膜，从而使工件在浮起状态下进行抛光。
砂轮修整 P43：砂轮修整是整形和修锐的总称。整形是为了获得理想的砂轮几何形状，修锐是为了提高磨削性能。
金刚石晶面磨削率 P31：它是指单位载荷和单位线速度下的磨削体积。
电镀 P162：利用电解液中的金属正离子在外电场的作用下沉积到阴极的过程对工件进行加工的方法，主要用于表面装饰、防锈。
液体静压轴承 P18：压力油通过节流孔进入轴承偶合面间的油腔，使轴在轴套内悬浮，不产生固体摩擦的轴承形式，它具有回转精度高、刚度较高、转动平稳、无振动的特点。 修光刃 P34：金刚石刀具刀头在主切削刃和副切削刃之间加过渡刃，对加工表面起修光作用，获得好的加工表面质量。
光刻加工 P240：光刻加工技术是用照相复印的方法将光刻掩模上的图形印制在涂有光致抗蚀剂的薄膜或基材表面，然后进行选择性腐蚀，刻蚀出规定的图形。
光管效应 P180：激光打孔采用多次照射加工，孔深可以大大增加，锥度可以减小，孔径几乎不变的现象。
简答题
1、简述精密磨削加工机理 P38-39
1） 微刃的微切削作用 2）微刃的等高切削作用 3）微刃的滑挤、摩擦、抛光作用 2、简述采用钝化性电解液提高电解加工精度的原因 P131
用NaNO3 、NaCLO3 等钝化性电解液，杂散腐蚀小，加工型孔时，虽然侧壁不绝缘，但当侧面间隙大到一定程度后就基本保持不变，孔壁的锥度小，成形精度高。工件的加工区处于超钝化状态，而非加工区由于阳极垫位较低，处于吨坏状态而受到钝化膜的保护，就可以减少杂散腐蚀，提高加工精度。 3、简述电铸方法基本原理 P163
用可导电的原模作阴极，电铸材料的金属盐溶液作电铸液，在直流电源作用下，溶液中金属离子在阴极上获得电子成为金属原子而沉积镀覆在阴极原模表面，阳极上的金属原子交出电子成为正金属离子进入镀液，对金属离子进行补充，以保持浓度基本不变。阳极原模上电铸层逐渐加厚，当达到预定厚度时即可取出，设法与原模分离，即可获得与原模型面凹凸相反的电铸件。
4、超声加工系统的组成部分及作用 P193-197
1） 超声波发生器 作用是将50Hz的交流电转变为一定功率的超声频电信号，以提供
工具往复运动和去除被加工材料的能量。
2） 超声振动系统 作用是将高频振荡电能转变为机械振荡能。 3） 超声加工机床本体 是加工的载体。
4） 磨料悬浮冷却及循环系统 冷却水系统用于冷却换能器。 5、为什么超精密机床大部分采用空气静压轴承？它有哪些优点？ P19
空气静压轴承具有很高的回转精度，在高速转动时温升甚小，基本达到恒温状态，因此造成的热变形误差很小。由于超精密加工的切削力很小，所以空气静压轴承可以满足相关要求，故在超精密机床中得到广泛的应用。 6、简述电解加工技术优势和工艺局限性。 P117
技术优势：1）能以简单的直线进给运动一次加工出复杂的型面和型腔 2）可以加工高硬度、高强度和高韧性等难以切削加工的金属
3）加工过程中无切削力和切削热，工件不产生内应力和变形，适合于加工易变形和薄壁性类零件。
4）加工后零件无毛刺和残余应力，粗糙度好，精度差 5）与其它加工方法相比，生产率最高
6）加工过程中工具电极（阴极）基本不损耗
局限性：1）加工精度一般不如电火花和超声波加工高 2）加工复杂型腔和型面时，工具的制造费用较高
3）电解加工设备占地面积大、附属设备多，初期投资较大
4）电解液的处理和回收油一定难度，而且对设备有一定的腐蚀作用，加工过程中产生的气体对环境有一定的污染
7、简述超声加工原理及应用 P192-193 201-203
原理：超声波发生器产生1.6万Hz以上高频交流电源，输送给超声换能器，产生超声波振动，并借助变幅杆将振幅放大到0.05～0.1mm左右，使变幅杆下端的工具产生强烈振动。含有水与磨料悬浮液由工具带动也产生强烈振动，冲击工件表面。工件表面受到磨料以很大速度和加速度的不断撞击，被粉碎成很细的微粒，从工件表面上脱落下来。循环流动的悬浮液带走脱落下来的微粒，并使磨料不断更新。同时，悬浮液带走受工具端部的超声振动作用而产生的液体冲击和空化现象，也加速了工件表面被机械破坏的效果。
作用：1）超声波加工型腔、型孔、具有精度高。表面质量好的优点 2）用超声波切削脆硬的半导体材料
3）复合加工 a、超声波电解复合加工b、超声波电火花复合加工c、超声波切削复合加工
4）超声波清洗 5）超声波焊接
8、电化学阳极钝化现象是优势还是缺点，为什么？ 复P6
电极钝化现象的存在，使电解加工阳极溶解速度下降甚至停顿。从生产率的角度出发人们不希望选用能产生钝化现象的钝化型电解液。
但是，当采用NaCl等非钝化型电解液工作时，虽然生产率很高，但因为杂散腐蚀严重，成形精度较差，严重影响了电解加工的应用。而当采用钝化型电解液加工时，尽管电极工具的非工作面没有绝缘，但当加工间隙达到一定尺寸后，对应的工件表面就会产生钝化膜，可以避免产生杂散腐蚀，提高加工精度，促进电解加工的推广应用。 9、简述超精密加工的实现条件 P15
1）超精密加工的机理与工艺方法 2）超精密加工工艺装备 3）超精密加工工具
4）超精密加工中的工件材料 5）精密测量及误差补偿技术 6）超精密加工工作环境、条件
10、为什么要进行金刚石晶体的定向？有几种方法？ P31
金刚石的定向就是确定（100）、（110）和（111）晶面的位置。为了便于金刚石刀具的设计和制造，必须进行金刚石晶体的定向。
定向方法：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。 11、简述涂镀加工原理与应用。 P166+162
12、电解加工及电火花加工过程中，电极与工件能否出现短路，为什么？
电解加工电极与工件不能出现短路，因为电解加工的电流是几千安培甚至上万安培，一旦正负极短路，就会烧伤工件；电火花加工正负极可以短路，电火花加工的电流只有几十到几安培，短路时不会烧伤工件。 13、简述精密加工技术难点。P12
1）去除厚度在1?m以下
2）在晶粒内
3）切应力急剧增大
4）工具和工件表面微观的弹性变形和塑性变形是随机的，精度难以控制，工艺系统的