1、成果名称：材料表面超精密加工纳米浆料的制备与工艺技术 项目简介
本项目发明的系列碱性纳米浆料、清洗剂及新技术，实现了多种材料在同一表面实现高平整、低粗糙、高洁净及速率可控。有效解决了目前常用的酸性浆料一直难以克服的腐蚀设备、塌边、选择性差、碟形坑、划伤、金属离子沾污等六大技术难题，实现了粗糙度达亚纳米级，大于0.1μm的吸附粒子小于10个，并使新加工表面的金属离子沾污和碟形坑得到有效控制，浆料价格仅为进口产品的1/4。 市场前景
预计建设近二十条φ200mm微电子生产线，特征线条尺寸均在0.25μm以下，均需要对衬底、多重布线介质及金属布线进行化学机械抛光（CMP），实现全局平面化，化学机械抛光浆料和清洗液则是进行此工艺不可缺少的主要耗材。 规模与投资
建立生产规模1万吨/年的装置，投资12,000万元。 生产设备
厂房净化设备、浆料制备及纯化设备等，流动资金6,000万。 效益分析
毛利50%以上。
2、成果名称：碱性抛光液与清洗剂及其技术
项目简介
采用碱性介质下化学作用为主的技术路线，为解决现有酸性浆料存在的七大技术难题，研制出用低粒径分散度、硬度适中、高浓度、易清洗的SiO2水溶胶为磨料的碱性抛光液。可有效降低机械强度，大幅度提高化学机械超精密加工精度和高速率，且简化工艺、降低成本、提高抛光液的商品竞争力，达到高效益。 市场前景
该项目的实现对我国集成电路影响深远，能够同时促使专用设备及用户得到突破性的进展与提高。该项目可有效解决在微电子多层铜布线全局平整化可替进口并逐步出口。 生产设备
CMP 抛光设备。 效益分析
实现低机械强度CMP条件下与设备相适应的抛光液和干进干出的清洗剂有效结合，能达到90nm、65nm所要求的有效去除有机物、金属原子与离子、颗粒等清洗要求，达到微电子发展要求的洁净化。
3、成果名称：风积沙路用性能及其施工技术 项目简介
本项目全面系统地掌握风积沙工程特性及其变化规律，风积沙路基压实机理及风积沙路基的干压、湿压施工工艺及质量控制方法，推荐出了无机结合料稳定风积沙材料配合比，提出了风积沙用作路面基层材料时的路用性能参数、为制定与修改有关技术规范或规程，提供科学依据。 市场需求及前景
本项目研究成果对风积沙工程特性的全面掌握，为风积沙材料在公路建设中的应用打下了坚实基础。在今后十几年内，我国将在沙漠地区修筑数千公里的沙漠公路，本项目研究成果关系到风积沙公路建设，并在其研究领域取得了很多重大进展，因而具有广阔的应用前景。 效益分析
利用公路沿线丰富的风积沙作为筑路材料，改变了以往风积沙地区公路建设必须从远处运土的惯例，产生的巨大的经济效益。
4、成果名称：沿海软弱土地基处理的现场灌注 大直径钢筋混凝土管桩的工艺方法和设备 （发明专利号：ZL2004 1 0018828.6）
项目简介
现场灌注大直径钢筋混凝土管桩是目前国内桩基工程中最新出现的桩型。该桩具承载力高，耐久性好，成桩质量可靠，施工快工效