电子级氢氟酸生产工艺介绍
1
概述
目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸
馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。如
亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品
ï¼?/p>
气体吸收技术可以用于大规模çš?/p>
生产
。另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更
严重,因此所使用çš?/p>
蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟ä¹?/p>
烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造ã€?/p>
电子级氢氟酸生产装置设计与工è‰?/p>
流程布置密切相关,垂直流向布置,原料
(
无水氢氟酸和高纯æ°?/p>
)
与中é—?/p>
产物可以依靠重力自上而下流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤ã€?/p>
灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同
时可避免泵对产品的二次污染ã€?/p>
2
生产工艺
将工业无水氢氟酸ç»?/p>
化学预处ç�?/p>
后,进入精馏塔通过
精馏
操作,得åˆ?/p>
的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中ç”?/p>
超纯水吸æ”?/p>
,并采用控制喷淋密度ã€?/p>
气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经Î?/p>
m
以下
超滤
工序,最å�?/p>
�/p>
密闭洁净环境条件ä¸?/p>
(
百级以下
)
进行灌装得到最终产å“?/p>
———电子级
氢氟酸ã€?/p>
3
生产方法的难ç‚?/p>
分析控制与产品检测要求高
。制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如ä¸?/p>
: (1)
电感耦合等离子高频质谱分析仪
(
ICP
-
MS)
ï¼?/p>
(2)
电感耦合等离子原子发射分æž?/p>
ä»?/p>
(
ICP
-
AES)
ï¼?/p>
(3)
原子吸收分光光度计;
(4)
氧原子发生无焰原子吸收分析仪ï¼?/p>
(5)
离子色谱分析仪;
(6)
激光散射液体微粒计数器ï¼?/p>
(7)
水表面杂质分析系统;
(8)
原子间力显微镜;
(9)
光学显微镜微粒计数器ï¼?/p>
(10)
扫描电子显微镜;
(11)
光学膜厚测定和表面仿形仪ï¼?/p>
(12)
表面张力测定仪;
(13)
空气中尘埃微粒测å®?/p>
仪;
(14)
水电阻率测定仪ã€?/p>
对水质要求高,要求水的电阻率≥ΩÂ?/p>
cm
�/p>
高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原æ–?/p>
,
也是包装容器的清洗剂
,
其纯
度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量ã€?/p>
高纯水的主要控制指标是电阻率和固