PECVD鎿嶄綔鎸囧�间�?- 鐧惧害鏂囧簱

鏂板缓

涓婁紶

棣栭〉

鍔╂墜

鏈�杩?/div>

璧勬枡搴?/div>

宸ュ叿

 

姹熻タ浣宠緣鍏夌數绉戞妧鏈夐檺鍏�鍙�

 

缂栧彿锛?/p>

JH-01

 

 

PECVD

璁惧�囦娇鐢ㄤ綔涓氭寚瀵间�?/p>

 

鍏?/p>

10

椤?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

绗?/p>

1

椤?/p>

 

 

鐗?/p>

 

鏈?/p>

 

Re 

v. 

 

缂栧啓浜?/p>

 

Prepared 

 

by 

 

缂栧啓鏃ユ湡

 

 

 

Prepared 

 

 

 

Date 

 

 

瀹℃牳浜?/p>

 

Checked 

 

by 

 

瀹℃牳鏃ユ湡

 

 

 

Checked 

 

 

 

Date 

 

 

鎵瑰噯浜?/p>

 

Approved 

 

by 

鎵瑰噯鏃ユ湡

 

Approved 

 

 

Date 

 

 

鑼冪ゥ

 

 

 

 

 

 

 

1.

 

鐩�鐨勶�?/p>

瑙勮寖鎿嶄綔

锛?/p>

涓虹敓浜ц溅闂存搷浣滆�勮寖鍖栨彁渚涗緷鎹�

 

2.

 

鑼冨洿

锛?/p>

閫傜敤浜?/p>

PECVD

璁惧�囦娇鐢ㄥ伐搴�

. 

3. 

鑱岃矗

锛?/p>

 

3.1.1

璐熻矗

PECVD

璁惧�囩殑寮�鏈哄拰鍏虫満绋嬪簭銆?/p>

 

3.1.2

璐熻矗

PECVD

璁惧�囩殑鏃ュ父缁存姢銆?/p>

 

3.1.3

璐熻矗鍙戠幇浣滀笟杩囩▼涓�鍏惰�惧�囧嚭鐜伴棶棰樻�庢牱瑙ｅ喅銆?/p>

 

4. 

鍚嶈瘝瀹氫箟锛?/p>

鏃?/p>

 

5. 

璁惧�囦娇鐢ㄧ▼搴忥�?/p>

 

5.1 

浣跨敤鐜�澧冨強宸ヤ綔鏉′�?/p>

 

5.1.1 

鐜�澧冩俯搴�

 

 

锛?/p>

2

5

鈩?/p>

 

5.1.2 

鐩稿�规箍搴�

 

 

锛?/p>

75% 

5.1.3 

鍑�鍖栫瓑绾?/p>

 

 

1000

绾?/p>

~10000

绾?/p>

 

5.1.4 

鐢垫簮

 

 

 

涓夌浉浜旂嚎锛?/p>

380V/50HZ

锛屸墹

50KW/

绠?/p>

 

5.1.5 

渚涙按

 

 

 

姘村帇

0.2MPa~0.4MPa 

5.1.6 

渚涙皵

 

 

 

SiH

4

 

 

NH

3

 

 

N

2

 

 

O

2

 

 

CF

4

浜?/p>

璺?/p>

姘?/p>

浣?/p>

锛?/p>

姘?/p>

鍘?

0.2MPa~0.45MPa 

5.1.7 

閰嶆帓椋庢帓姣掕�呯�?/p>

 

5.2

瀵圭幆澧冨強鑳芥簮鐨勫奖鍝?/p>

 

PECVD

璁惧�囨湰韬�瀵圭幆澧冨強鑳芥簮娌℃湁浠讳綍褰卞搷锛岃嫢鐢ㄦ埛閲囩敤涓嶅悓鐨勫伐鑹猴紝浣跨敤涓嶅悓鐨勬皵

浣撳彲鑳藉�圭幆澧冪◢鏈夊奖鍝嶏紝浣嗙敱浜庣敤姘旈噺闈炲父灏忥紝涓嶄細閫犳垚浠讳綍鍗卞�炽�?/p>

 

5.3

瀹夊叏