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1 

2012-2013

学年?/p>

1

学期《薄膜光学与技术》期末考试试题?/p>

A

卷)

 

参考答案及评分标准

 

一、填空题

 

(每?/p>

1

分,?/p>

24

分)

 

1

?/p>

在折射率?/p>

3.5

的基底表面镀单层减反射膜?/p>

对于

4000nm

的光波,

理论上能

达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:

 

 

 

1.8708 

 

 

,需要镀制的薄膜光学厚度

?/p>

 

 

 

1000 

 

nm

?/p>

 

2

、若薄膜的折射率?/p>

n

,光线在薄膜内的折射角为

θ

,则

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光的修正导纳?/p>

别为

 

 

 

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θ

 

 

 

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3

、对于波长为

λ

的光来说,单层膜的光学厚度每增加

 

 

 

 

λ

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,薄膜的?/p>

射率就会出现一次极值变化?/p>

当薄膜的折射率小于基底折射率时,

出现的第一?/p>

反射率极值是

 

 

 

极小

 

 

 

 

(极大、极小)值?/p>

 

4

?/p>

虚设层的形成条件是:

 

 

 

 

 

 

薄膜的光学厚度等于半波长的整数?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

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5

、周期性对称膜?/p>

(pqp)

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的等效折射率?/p>

 

 

 

基本周期

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的等效折射率?/p>

全相同,其等效位相厚度等?/p>

 

 

 

 

基本周期?/p>

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、折射率?/p>

n

1

,光学厚度为

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,那么,该单层膜与基?/p>

的组合导纳为?/p>

 

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介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的

 

折射?/p>

 

有关?/p>

折射?/p>

 

差值越?/p>

 

 

?/p>

高反射带越宽?/p>

 

8

、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量

 

 

 

真空

 

 

 

的目的?/p>

 

9

、镀膜室内真空度高表明气体压?/p>

 

 

 

?/p>

 

 

 

,真空度低则气体压强

 

 

 

?/p>

 

 

 

?/p>

 

10

?/p>

薄膜几何厚度的监控通常?/p>

 

 

 

石英晶振

 

 

 

膜厚仪来实现?/p>

光学厚度常常?/p>

?/p>

 

 

 

光电

 

 

 

 

膜厚仪来监控?/p>

 

11

?/p>

采用

PVD

技术制造薄膜器件时?/p>

薄膜折射率的误差主要来自三个方面?/p>

 

 

?/p>

层的聚集密度

 

 

 

?/p>

 

 

膜层的微观组织物理结?/p>

 

 

?/p>

 

膜层的化学成?/p>

 

 

 

?/p>

 

12

、改善膜层厚度均匀性的措施包括

 

 

旋转夹具

 

 

?/p>

 

 

膜层厚度调节?/p>

 

 

?/p>

 

13

、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为

900nm

的薄膜,?/p>

500-700nm

范围内,可以选取的监控波长为

 

 

600 

 

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514.3 

 

nm

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2012-2013

学年?/p>

1

学期《薄膜光学与技术》期末考试试题?/p>

A

卷)

 

参考答案及评分标准

 

一、填空题

 

(每?/p>

1

分,?/p>

24

分)

 

1

?/p>

在折射率?/p>

3.5

的基底表面镀单层减反射膜?/p>

对于

4000nm

的光波,

理论上能

达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:

 

 

 

1.8708 

 

 

,需要镀制的薄膜光学厚度

?/p>

 

 

 

1000 

 

nm

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2

、若薄膜的折射率?/p>

n

,光线在薄膜内的折射角为

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、对于波长为

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的光来说,单层膜的光学厚度每增加

 

 

 

 

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,薄膜的?/p>

射率就会出现一次极值变化?/p>

当薄膜的折射率小于基底折射率时,

出现的第一?/p>

反射率极值是

 

 

 

极小

 

 

 

 

(极大、极小)值?/p>

 

4

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虚设层的形成条件是:

 

 

 

 

 

 

薄膜的光学厚度等于半波长的整数?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

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、周期性对称膜?/p>

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全相同,其等效位相厚度等?/p>

 

 

 

 

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6

、折射率?/p>

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1

,光学厚度为

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的组合导纳为?/p>

 

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介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的

 

折射?/p>

 

有关?/p>

折射?/p>

 

差值越?/p>

 

 

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高反射带越宽?/p>

 

8

、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量

 

 

 

真空

 

 

 

的目的?/p>

 

9

、镀膜室内真空度高表明气体压?/p>

 

 

 

?/p>

 

 

 

,真空度低则气体压强

 

 

 

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10

?/p>

薄膜几何厚度的监控通常?/p>

 

 

 

石英晶振

 

 

 

膜厚仪来实现?/p>

光学厚度常常?/p>

?/p>

 

 

 

光电

 

 

 

 

膜厚仪来监控?/p>

 

11

?/p>

采用

PVD

技术制造薄膜器件时?/p>

薄膜折射率的误差主要来自三个方面?/p>

 

 

?/p>

层的聚集密度

 

 

 

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膜层的微观组织物理结?/p>

 

 

?/p>

 

膜层的化学成?/p>

 

 

 

?/p>

 

12

、改善膜层厚度均匀性的措施包括

 

 

旋转夹具

 

 

?/p>

 

 

膜层厚度调节?/p>

 

 

?/p>

 

13

、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为

900nm

的薄膜,?/p>

500-700nm

范围内,可以选取的监控波长为

 

 

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学年?/p>

1

学期《薄膜光学与技术》期末考试试题?/p>

A

卷)

 

参考答案及评分标准

 

一、填空题

 

(每?/p>

1

分,?/p>

24

分)

 

1

?/p>

在折射率?/p>

3.5

的基底表面镀单层减反射膜?/p>

对于

4000nm

的光波,

理论上能

达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:

 

 

 

1.8708 

 

 

,需要镀制的薄膜光学厚度

?/p>

 

 

 

1000 

 

nm

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2

、若薄膜的折射率?/p>

n

,光线在薄膜内的折射角为

θ

,则

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别为

 

 

 

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3

、对于波长为

λ

的光来说,单层膜的光学厚度每增加

 

 

 

 

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,薄膜的?/p>

射率就会出现一次极值变化?/p>

当薄膜的折射率小于基底折射率时,

出现的第一?/p>

反射率极值是

 

 

 

极小

 

 

 

 

(极大、极小)值?/p>

 

4

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虚设层的形成条件是:

 

 

 

 

 

 

薄膜的光学厚度等于半波长的整数?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

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5

、周期性对称膜?/p>

(pqp)

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全相同,其等效位相厚度等?/p>

 

 

 

 

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6

、折射率?/p>

n

1

,光学厚度为

λ

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的组合导纳为?/p>

 

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介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的

 

折射?/p>

 

有关?/p>

折射?/p>

 

差值越?/p>

 

 

?/p>

高反射带越宽?/p>

 

8

、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量

 

 

 

真空

 

 

 

的目的?/p>

 

9

、镀膜室内真空度高表明气体压?/p>

 

 

 

?/p>

 

 

 

,真空度低则气体压强

 

 

 

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10

?/p>

薄膜几何厚度的监控通常?/p>

 

 

 

石英晶振

 

 

 

膜厚仪来实现?/p>

光学厚度常常?/p>

?/p>

 

 

 

光电

 

 

 

 

膜厚仪来监控?/p>

 

11

?/p>

采用

PVD

技术制造薄膜器件时?/p>

薄膜折射率的误差主要来自三个方面?/p>

 

 

?/p>

层的聚集密度

 

 

 

?/p>

 

 

膜层的微观组织物理结?/p>

 

 

?/p>

 

膜层的化学成?/p>

 

 

 

?/p>

 

12

、改善膜层厚度均匀性的措施包括

 

 

旋转夹具

 

 

?/p>

 

 

膜层厚度调节?/p>

 

 

?/p>

 

13

、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为

900nm

的薄膜,?/p>

500-700nm

范围内,可以选取的监控波长为

 

 

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《薄膜光学与技术?012期末考试试题A-答案 - 百度文库
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2012-2013

学年?/p>

1

学期《薄膜光学与技术》期末考试试题?/p>

A

卷)

 

参考答案及评分标准

 

一、填空题

 

(每?/p>

1

分,?/p>

24

分)

 

1

?/p>

在折射率?/p>

3.5

的基底表面镀单层减反射膜?/p>

对于

4000nm

的光波,

理论上能

达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:

 

 

 

1.8708 

 

 

,需要镀制的薄膜光学厚度

?/p>

 

 

 

1000 

 

nm

?/p>

 

2

、若薄膜的折射率?/p>

n

,光线在薄膜内的折射角为

θ

,则

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光的修正导纳?/p>

别为

 

 

 

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3

、对于波长为

λ

的光来说,单层膜的光学厚度每增加

 

 

 

 

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射率就会出现一次极值变化?/p>

当薄膜的折射率小于基底折射率时,

出现的第一?/p>

反射率极值是

 

 

 

极小

 

 

 

 

(极大、极小)值?/p>

 

4

?/p>

虚设层的形成条件是:

 

 

 

 

 

 

薄膜的光学厚度等于半波长的整数?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

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5

、周期性对称膜?/p>

(pqp)

s

的等效折射率?/p>

 

 

 

基本周期

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的等效折射率?/p>

全相同,其等效位相厚度等?/p>

 

 

 

 

基本周期?/p>

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6

、折射率?/p>

n

1

,光学厚度为

λ

0

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,基底的折射率为

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,那么,该单层膜与基?/p>

的组合导纳为?/p>

 

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介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的

 

折射?/p>

 

有关?/p>

折射?/p>

 

差值越?/p>

 

 

?/p>

高反射带越宽?/p>

 

8

、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量

 

 

 

真空

 

 

 

的目的?/p>

 

9

、镀膜室内真空度高表明气体压?/p>

 

 

 

?/p>

 

 

 

,真空度低则气体压强

 

 

 

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10

?/p>

薄膜几何厚度的监控通常?/p>

 

 

 

石英晶振

 

 

 

膜厚仪来实现?/p>

光学厚度常常?/p>

?/p>

 

 

 

光电

 

 

 

 

膜厚仪来监控?/p>

 

11

?/p>

采用

PVD

技术制造薄膜器件时?/p>

薄膜折射率的误差主要来自三个方面?/p>

 

 

?/p>

层的聚集密度

 

 

 

?/p>

 

 

膜层的微观组织物理结?/p>

 

 

?/p>

 

膜层的化学成?/p>

 

 

 

?/p>

 

12

、改善膜层厚度均匀性的措施包括

 

 

旋转夹具

 

 

?/p>

 

 

膜层厚度调节?/p>

 

 

?/p>

 

13

、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为

900nm

的薄膜,?/p>

500-700nm

范围内,可以选取的监控波长为

 

 

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