1
2012-2013
学年?/p>
1
学期《薄膜光学与技术》期末考试试题?/p>
A
卷)
参考答案及评分标准
一、填空题
(每?/p>
1
分,?/p>
24
分)
1
?/p>
在折射率?/p>
3.5
的基底表面镀单层减反射膜?/p>
对于
4000nm
的光波,
理论上能
达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:
1.8708
,需要镀制的薄膜光学厚度
?/p>
1000
nm
?/p>
2
、若薄膜的折射率?/p>
n
,光线在薄膜内的折射角为
θ
,则
s
?/p>
p
光的修正导纳?/p>
别为
ncos
θ
?/p>
n/cos
θ
?/p>
3
、对于波长为
λ
的光来说,单层膜的光学厚度每增加
λ
/4
,薄膜的?/p>
射率就会出现一次极值变化?/p>
当薄膜的折射率小于基底折射率时,
出现的第一?/p>
反射率极值是
极小
(极大、极小)值?/p>
4
?/p>
虚设层的形成条件是:
薄膜的光学厚度等于半波长的整数?/p>
?/p>
5
、周期性对称膜?/p>
(pqp)
s
的等效折射率?/p>
基本周期
/pqp
的等效折射率?/p>
全相同,其等效位相厚度等?/p>
基本周期?/p>
s
?/p>
?/p>
6
、折射率?/p>
n
1
,光学厚度为
λ
0
/4
,基底的折射率为
n
s
,那么,该单层膜与基?/p>
的组合导纳为?/p>
s
n
n
Y
2
1
?/p>
7
?/p>
介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的
折射?/p>
有关?/p>
折射?/p>
差值越?/p>
?/p>
高反射带越宽?/p>
8
、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量
真空
的目的?/p>
9
、镀膜室内真空度高表明气体压?/p>
?/p>
,真空度低则气体压强
?/p>
?/p>
10
?/p>
薄膜几何厚度的监控通常?/p>
石英晶振
膜厚仪来实现?/p>
光学厚度常常?/p>
?/p>
光电
膜厚仪来监控?/p>
11
?/p>
采用
PVD
技术制造薄膜器件时?/p>
薄膜折射率的误差主要来自三个方面?/p>
?/p>
层的聚集密度
?/p>
膜层的微观组织物理结?/p>
?/p>
膜层的化学成?/p>
?/p>
12
、改善膜层厚度均匀性的措施包括
旋转夹具
?/p>
膜层厚度调节?/p>
?/p>
13
、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为
900nm
的薄膜,?/p>
500-700nm
范围内,可以选取的监控波长为
600
?/p>
514.3
nm
?/p>