半导体厂务工?/p>
吴世?/p>
国家奈米组件实验?/p>
一、前言
近年来,半导体晶圆厂已进展到
8"
晶圆的量产规模,同时,也着手规?/p>
12"
晶圆的建厂与?/p>
产,准备迎接另一世代的产业规模。于是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模,似乎稍一
停顿即会从此竞争中败下阵来。所以,推促着制程技术不断地往前迈进,?/p>
0.25
μ
m
设计规格
?/p>
64Mb
(兆位)
DRAM
(动态随机存储元件)内存密度的此际技术起,又加速地往
0.18
μ
m
?/p>
格的
256M
发展;甚?/p>
0.13
μ
m
?/p>
1Gb
(千兆位)集积度?/p>
DRAM
组件设计也屡见不鲜。亦即整
个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战,在竞争中,除了更新制程设备外,最重要的是?/p>
持厂区正常运作的厂务工作之配合,而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。特别是多次的工
安事故及环保意识抬头之后,厂务工作更是倍显其重要及殷切?/p>

事实上,半导体厂的厂务工作为多援属性的
任务,也是后勤配合与收摊(废弃物)处理的工作;平时很难察觉其重要性,但状况一出,?/p>
会令整厂鸡飞狗跳,人仰马翻,以致关厂停机的地步。所以,藉此针对厂务工作的内容做一?/p>
略性的描述,说明其重要性并供作参考与了解。文章分为三部份:首先为厂务工作的种类,?/p>
次是厂务工作的未来方向,最后是本文的结语?/p>
二、厂务工作的种类
目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作,约可分为下列数项?/p>
1.
一般气体及特殊气体的供应及监控?/p>