lD22192
学校代玛
?/p>
梗旦大学
硕士学位论文
(
专业学位
)
IC
制程巾氮化硅薄膜及相应氧化硅膜腐蚀工艺
和机理研?/p>
所
信息科学与工程学?/p>
业:
子与通信工程
名:
王明?/p>
指导?
师:
士进副教?/p>
完成口期?/p>
2006
10
20