扫描电子显微镜(钨灯丝)配置及技术指?/p>
一?/p>
主要用?/p>
1
、材料显微结构的二次电子像观?/p>
2
、材料显微结构的背散射电子像观察
3
、材料微区元素的定性和半定量分?/p>
二?/p>
扫描电镜组成
1
、主?/p>
+
电制?/p>
X
射线能谱?/p>
2
、计算机控制系统
3
、真空系?/p>
4
、低真空系统
5
、电子光学系?/p>
6
、辅助设备(变压器、稳压器、冷却装置等?/p>
7
、备品备件(包括灯丝、聚光镜光栏、物镜光栏、保险丝、密封圈、专用工具?/p>
碳、银两种导电胶、导电胶带、真空脂、二次电子探测器等)
8
、离子溅射仪
三?/p>
技术指?/p>
1
、二次电子(高真空)分辨率:
3.0nm
?/p>
30KV
?/p>
2
、背散射电子(高真空)分辨率?/p>
4.0nm
?/p>
30KV
?/p>
3
、放大倍数:最低倍率?/p>
6
倍,最高倍率?/p>
300,000
?/p>
4
、真空系?/p>
4.1
具有高低真空功能?/p>
4.2
真空泵系?/p>
?/p>
涡轮分子?/p>
+
机械?/p>
4.4
真空系统阀门:电磁阀或气动阀(配有空压机?/p>
5
电子光学系统
5.1
电子枪:全自动电子枪,具有自动偏压功?/p>
5.2
聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,用户可自行拆卸、更换聚光镜光阑
5.3
灯丝:预对中灯丝,灯丝饱和自动调?/p>
6
样品室和样品?/p>
6.1
最大样品尺寸:
200mmx75mm
6.2 5
轴自动马达驱动样品台
6.3
非接触报警装置:通过输入的样品尺寸数据,自动避免样品台的危险操作
6.
4
具有样品室内部整体观察功能(
CCD
?/p>
1