龙源期刊?/p>
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《微电子工艺及器件仿真》课程教学方法研
?/p>
作者:刘兴?/p>
康大?/p>
来源:《教育教学论坛?/p>
2017
年第
01
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摘要:《微电子工艺及器件仿真》是在创新人才培养质量的背景下,为增强微电子专业?/p>
科生的创新精神和实践能力而开设的一门专业课,课程的知识结构、培养目标与行业需求紧?/p>
对接。针对课程综合性、系统性和应用性强、学生不易掌握的特点,采用精讲多练的授课?/p>
式:在讲授环节,教师对仿真文件中的仿真规则、关键语句、物理模型及需要采用的处理方法
进行重点阐述,同时使用案例式教学法,便于学生掌握仿真要领;在练习环节,借助于翻转课
堂模式和提供开放实验室,增强学生自主学习能力并训练修正反馈、举一反三等多维能力,?/p>
得了很好的效果?/p>
关键词:工艺及器件仿真;案例教学;翻转课堂;修正反馈
中图分类号:
G642.4
文献标志码:
A
文章编号?/p>
1674-9324
?/p>
2017
?/p>
01-0215-03
按照《教育部关于全面提高高等教育质量的若干意见》(教高
[2012]4
号)、《国务院?/p>
公厅关于深化高等学校创新创业教育改革的实施意见》(国办?/p>
[2015]36
号)和《教育部、国
家发展改革委、财政部关于引导部分地方普通本科高校向应用型转变的指导意见》(教发
[2015]7
号)的文件精神,高等学校的人才培养目标应逐步向集知识传授、能力培养、素质提
高相融合的方向转变。为深化本科教学改革,培养创新型、复合型、应用型人才,教师授课应
突出把握创新型课堂教?/p>
[1]
、引导学生创新性自主学?/p>
[2]
两个重点?/p>
当今,微电子和集成电路产业发展迅猛,已成为支撑经济社会发展和保障国家安全的战?/p>
性、基础性和先导性产业,这为高等学校微电子及相关专业如何培养创新型、应用型、且与行
业需求紧密对接的人才提出了更高的要求。具体来说,对知识的传授应以工程实践能力培养?/p>
主线
[3]
,实现学生在知识结构、能力及素质等方面能够适应行业需求?/p>
《微电子工艺及器件仿真》是利用计算机辅助设计工具实现微电子工艺虚拟制造、器件?/p>
能验证、预测以及电参数提取的一门课程。该课程将《半导体物理》、《半导体器件物理》?/p>
《半导体工艺》等专业理论知识和微电子行业实际生产制造有效衔接。学生通过该课程的?/p>
习,一方面,可充分理解专业知识在微电子行业中的具体应用,能够强化理论教学效果。另一
方面,仿真可部分取代耗费成本的流片实验、降低生产成本,缩短研发周期以及提高成品率?/p>
为使学生更好地掌握该课程要点,探索合适的教学方法是必不可少的。然而,没有哪种?/p>
学模式和方法是适合所有科目、所有学生的。一种好的教学方法应该是针对课程的内容和?/p>
点,在实践中总结出来的?/p>