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多晶硅还原生产中变压器转档问题探?/p>

 

关键词:调功?/p>

 

电阻?/p>

 

摩尔?/p>

 

沉积功率

 

目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中

70%

以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳?/p>

级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前?/p>

晶硅生产普遍采用的首选工艺?/p>

 

一、多晶硅还原电源

 

还原炉电源系统是采用变压器副?/p>

4

档电压输出,调功柜将相邻

2

个档位频率和初相角等但幅值不同的交流电源拼波构成。除在转

档过渡时只有一档位独立工作外,还原炉调压电源任意相?/p>

2

档同

时工作。还原炉调功电源在转档时?/p>

2

档实际输出电流达到了保护

设定?/p>

900a

后,保护自动封锁?/p>

2

档电流输出,保证其不过载?/p>

这时就只有第

3

档在工作,但是第

3

档能够输出的电压不足以维?/p>

硅棒上原有电流,导致硅棒电流下降。当硅棒电流低于给定值时?/p>

调功柜又自动投入?/p>

2

档与在工作的?/p>

3

档拼波构成一个复合电

压,以保证硅棒电流达到给定电流值。第

2

档重新投入工作后又产

生过载保护,自动封锁其输出电流,就会出现了电流波动甚至整?/p>

电源停止工作的情况?/p>

 

二、变压器转档困难原因分析

 

1.

转档的条?/p>

 

从历来数据看,还原炉转档困难的问题基本都是发生在

2

档转

3

档上。因此,只针?/p>

2

档转

3

档产生的问题进行讨论,还原炉电源

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多晶硅还原生产中变压器转档问题探?/p>

 

关键词:调功?/p>

 

电阻?/p>

 

摩尔?/p>

 

沉积功率

 

目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中

70%

以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳?/p>

级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前?/p>

晶硅生产普遍采用的首选工艺?/p>

 

一、多晶硅还原电源

 

还原炉电源系统是采用变压器副?/p>

4

档电压输出,调功柜将相邻

2

个档位频率和初相角等但幅值不同的交流电源拼波构成。除在转

档过渡时只有一档位独立工作外,还原炉调压电源任意相?/p>

2

档同

时工作。还原炉调功电源在转档时?/p>

2

档实际输出电流达到了保护

设定?/p>

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后,保护自动封锁?/p>

2

档电流输出,保证其不过载?/p>

这时就只有第

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档在工作,但是第

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档能够输出的电压不足以维?/p>

硅棒上原有电流,导致硅棒电流下降。当硅棒电流低于给定值时?/p>

调功柜又自动投入?/p>

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档与在工作的?/p>

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档拼波构成一个复合电

压,以保证硅棒电流达到给定电流值。第

2

档重新投入工作后又产

生过载保护,自动封锁其输出电流,就会出现了电流波动甚至整?/p>

电源停止工作的情况?/p>

 

二、变压器转档困难原因分析

 

1.

转档的条?/p>

 

从历来数据看,还原炉转档困难的问题基本都是发生在

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档上。因此,只针?/p>

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档产生的问题进行讨论,还原炉电源

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关键词:调功?/p>

 

电阻?/p>

 

摩尔?/p>

 

沉积功率

 

目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中

70%

以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳?/p>

级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前?/p>

晶硅生产普遍采用的首选工艺?/p>

 

一、多晶硅还原电源

 

还原炉电源系统是采用变压器副?/p>

4

档电压输出,调功柜将相邻

2

个档位频率和初相角等但幅值不同的交流电源拼波构成。除在转

档过渡时只有一档位独立工作外,还原炉调压电源任意相?/p>

2

档同

时工作。还原炉调功电源在转档时?/p>

2

档实际输出电流达到了保护

设定?/p>

900a

后,保护自动封锁?/p>

2

档电流输出,保证其不过载?/p>

这时就只有第

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档在工作,但是第

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档能够输出的电压不足以维?/p>

硅棒上原有电流,导致硅棒电流下降。当硅棒电流低于给定值时?/p>

调功柜又自动投入?/p>

2

档与在工作的?/p>

3

档拼波构成一个复合电

压,以保证硅棒电流达到给定电流值。第

2

档重新投入工作后又产

生过载保护,自动封锁其输出电流,就会出现了电流波动甚至整?/p>

电源停止工作的情况?/p>

 

二、变压器转档困难原因分析

 

1.

转档的条?/p>

 

从历来数据看,还原炉转档困难的问题基本都是发生在

2

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档上。因此,只针?/p>

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多晶硅还原生产中变压器转档问题探?- 百度文库
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多晶硅还原生产中变压器转档问题探?/p>

 

关键词:调功?/p>

 

电阻?/p>

 

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沉积功率

 

目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中

70%

以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳?/p>

级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前?/p>

晶硅生产普遍采用的首选工艺?/p>

 

一、多晶硅还原电源

 

还原炉电源系统是采用变压器副?/p>

4

档电压输出,调功柜将相邻

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档过渡时只有一档位独立工作外,还原炉调压电源任意相?/p>

2

档同

时工作。还原炉调功电源在转档时?/p>

2

档实际输出电流达到了保护

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900a

后,保护自动封锁?/p>

2

档电流输出,保证其不过载?/p>

这时就只有第

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档在工作,但是第

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调功柜又自动投入?/p>

2

档与在工作的?/p>

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档拼波构成一个复合电

压,以保证硅棒电流达到给定电流值。第

2

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电源停止工作的情况?/p>

 

二、变压器转档困难原因分析

 

1.

转档的条?/p>

 

从历来数据看,还原炉转档困难的问题基本都是发生在

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