多晶硅还原生产中变压器转档问题探?/p>
关键词:调功?/p>
电阻?/p>
摩尔?/p>
沉积功率
目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中
70%
以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳?/p>
级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前?/p>
晶硅生产普遍采用的首选工艺?/p>
一、多晶硅还原电源
还原炉电源系统是采用变压器副?/p>
4
档电压输出,调功柜将相邻
2
个档位频率和初相角等但幅值不同的交流电源拼波构成。除在转
档过渡时只有一档位独立工作外,还原炉调压电源任意相?/p>
2
档同
时工作。还原炉调功电源在转档时?/p>
2
档实际输出电流达到了保护
设定?/p>
900a
后,保护自动封锁?/p>
2
档电流输出,保证其不过载?/p>
这时就只有第
3
档在工作,但是第
3
档能够输出的电压不足以维?/p>
硅棒上原有电流,导致硅棒电流下降。当硅棒电流低于给定值时?/p>
调功柜又自动投入?/p>
2
档与在工作的?/p>
3
档拼波构成一个复合电
压,以保证硅棒电流达到给定电流值。第
2
档重新投入工作后又产
生过载保护,自动封锁其输出电流,就会出现了电流波动甚至整?/p>
电源停止工作的情况?/p>
二、变压器转档困难原因分析
1.
转档的条?/p>
从历来数据看,还原炉转档困难的问题基本都是发生在
2
档转
3
档上。因此,只针?/p>
2
档转
3
档产生的问题进行讨论,还原炉电源