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1 

拉晶工基本操作步?/p>

 

 

一

)

拉晶的基本操作分?/p>

13

个步?/p>

,

如下

: 

1

系统启动

 

2

清炉

 

3

装料

 

4

抽空检?/p>

 

5

化料

 

6

全熔稳定

 

7

引晶缩颈

 

8

放肩

 

9

转肩

 

10

等径

 

11

收尾

 

12

停炉及热后真空检?/p>

 

13

拆炉

 

?/p>

)

具体明操?/p>

 

⑴系统启?/p>

 

在系统启动时先通知机修工送电

,

待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单

晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用

.

打开控制柜电源后检查晶体转?/p>

升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位

,

坩埚上升及下降限

位是否也调好

.

检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤

,

钼拉头是否齐?/p>

 

⑵清?/p>

 

?/p>

 

将炉内石墨件完好的取?/p>

 

?/p>

 

用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净

 

?/p>

 

将真空泵抽空管道清理干净

 

?/p>

 

将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净

 

?/p>

 

按照取出的顺序反向依次安?/p>

 

?/p>

:

炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火

. 

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)

装料

 

①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前

 

②将托杆螺丝紧好

 

③将炉底用吸尘器吸干净

 

④通知师傅检查石英坩埚及石墨?/p>

 

⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部

 

⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐?/p>

尽量不要有太大的间隙?/p>

中块料及小块?/p>

用来填补间隙

 

⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少

 

⑧在导流筒放下去后,

在导流筒中部将剩余的料装好,

注意料在装时不要与导?

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拉晶的基本操作分?/p>

13

个步?/p>

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如下

: 

1

系统启动

 

2

清炉

 

3

装料

 

4

抽空检?/p>

 

5

化料

 

6

全熔稳定

 

7

引晶缩颈

 

8

放肩

 

9

转肩

 

10

等径

 

11

收尾

 

12

停炉及热后真空检?/p>

 

13

拆炉

 

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具体明操?/p>

 

⑴系统启?/p>

 

在系统启动时先通知机修工送电

,

待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单

晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用

.

打开控制柜电源后检查晶体转?/p>

升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位

,

坩埚上升及下降限

位是否也调好

.

检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤

,

钼拉头是否齐?/p>

 

⑵清?/p>

 

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将炉内石墨件完好的取?/p>

 

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用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净

 

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将真空泵抽空管道清理干净

 

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将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净

 

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按照取出的顺序反向依次安?/p>

 

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:

炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火

. 

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装料

 

①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前

 

②将托杆螺丝紧好

 

③将炉底用吸尘器吸干净

 

④通知师傅检查石英坩埚及石墨?/p>

 

⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部

 

⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐?/p>

尽量不要有太大的间隙?/p>

中块料及小块?/p>

用来填补间隙

 

⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少

 

⑧在导流筒放下去后,

在导流筒中部将剩余的料装好,

注意料在装时不要与导?

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13

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1

系统启动

 

2

清炉

 

3

装料

 

4

抽空检?/p>

 

5

化料

 

6

全熔稳定

 

7

引晶缩颈

 

8

放肩

 

9

转肩

 

10

等径

 

11

收尾

 

12

停炉及热后真空检?/p>

 

13

拆炉

 

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具体明操?/p>

 

⑴系统启?/p>

 

在系统启动时先通知机修工送电

,

待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单

晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用

.

打开控制柜电源后检查晶体转?/p>

升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位

,

坩埚上升及下降限

位是否也调好

.

检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤

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钼拉头是否齐?/p>

 

⑵清?/p>

 

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将炉内石墨件完好的取?/p>

 

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用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净

 

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将真空泵抽空管道清理干净

 

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将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净

 

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按照取出的顺序反向依次安?/p>

 

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炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火

. 

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装料

 

①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前

 

②将托杆螺丝紧好

 

③将炉底用吸尘器吸干净

 

④通知师傅检查石英坩埚及石墨?/p>

 

⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部

 

⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐?/p>

尽量不要有太大的间隙?/p>

中块料及小块?/p>

用来填补间隙

 

⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少

 

⑧在导流筒放下去后,

在导流筒中部将剩余的料装好,

注意料在装时不要与导?

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拉晶工基本操作步?- 百度文库
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拉晶工基本操作步?/p>

 

 

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7

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停炉及热后真空检?/p>

 

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在系统启动时先通知机修工送电

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打开控制柜电源后检查晶体转?/p>

升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位

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①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前

 

②将托杆螺丝紧好

 

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⑧在导流筒放下去后,

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