卉欣光电
1
拉晶工基本操作步?/p>
一
)
拉晶的基本操作分?/p>
13
个步?/p>
,
如下
:
1
系统启动
2
清炉
3
装料
4
抽空检?/p>
5
化料
6
全熔稳定
7
引晶缩颈
8
放肩
9
转肩
10
等径
11
收尾
12
停炉及热后真空检?/p>
13
拆炉
?/p>
)
具体明操?/p>
⑴系统启?/p>
在系统启动时先通知机修工送电
,
待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单
晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用
.
打开控制柜电源后检查晶体转?/p>
升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位
,
坩埚上升及下降限
位是否也调好
.
检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤
,
钼拉头是否齐?/p>
⑵清?/p>
?/p>
将炉内石墨件完好的取?/p>
?/p>
用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净
?/p>
将真空泵抽空管道清理干净
?/p>
将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净
?/p>
按照取出的顺序反向依次安?/p>
?/p>
:
炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火
.
?/p>
)
装料
①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前
②将托杆螺丝紧好
③将炉底用吸尘器吸干净
④通知师傅检查石英坩埚及石墨?/p>
⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部
⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐?/p>
尽量不要有太大的间隙?/p>
中块料及小块?/p>
用来填补间隙
⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少
⑧在导流筒放下去后,
在导流筒中部将剩余的料装好,
注意料在装时不要与导?