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大作?/p>

 

 

题目?/p>

MEMS motor 

 

 

 

 

 

              

 

 

 

摘要?/p>

本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机?/p>

电磁型微电机?/p>

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电式微电机?/p>

形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理,

结构组成?/p>

及应用前景?/p>

 

关键字:

微电?/p>

 

微机电系?/p>

 

微机?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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大作?/p>

 

 

题目?/p>

MEMS motor 

 

 

 

 

 

              

 

 

 

摘要?/p>

本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机?/p>

电磁型微电机?/p>

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电式微电机?/p>

形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理,

结构组成?/p>

及应用前景?/p>

 

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微机?/p>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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大作?/p>

 

 

题目?/p>

MEMS motor 

 

 

 

 

 

              

 

 

 

摘要?/p>

本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机?/p>

电磁型微电机?/p>

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电式微电机?/p>

形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理,

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微机电系?/p>

 

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微机电系统及纳米技术大作业--MEMS motor - 百度文库
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摘要?/p>

本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机?/p>

电磁型微电机?/p>

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电式微电机?/p>

形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理,

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微电?/p>

 

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