微机电系统及纳米技?/p>
大作?/p>
题目?/p>
MEMS motor
摘要?/p>
本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机?/p>
电磁型微电机?/p>
?/p>
电式微电机?/p>
形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理,
结构组成?/p>
及应用前景?/p>
关键字:
微电?/p>
微机电系?/p>
微机?/p>