金刚石膜的应用以及制备方?/p>
—————?/p>
微波等离子体
CVD
制备金刚石膜
前言?/p>
随着对金刚石的深入研究以及广泛应用,
对硬质碳素材料有了进一步探索和
需求,因此渴望找到一种可以代替金刚石的的材料。自?/p>
1971
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Aisenberg
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Chabot
第一次利用碳的离子束沉积技术制备出具有金刚石特征的非晶碳膜以后?/p>
全球范围内掀起了制备类金刚石薄膜的浪潮?/p>
金刚石膜具有高硬度?/p>
低摩擦系数?/p>
高弹性模量、高热导、高绝缘、高稳定性、宽能隙和载流子高迁移率等优异性质
和这些优异特性的组合?/p>
是一种在传统工业?/p>
军事?/p>
航天航空和高科技领域具有
广泛应用前景的新材料,被称为是继石器时代、青铜器时代、钢铁时代、硅时代
以来的第五代新材料,
亦被称为是继塑料发明以来在材料科学领域的最伟大的发
明?/p>
微波等离子体化学气相沉积金刚石膜(简称:
CVD
金刚石膜?/p>
,具有沉积速度
快、纯度高、成膜均匀、面积大、结晶好、成本低等优点,是当今国际上制备?/p>
刚石膜的最先进方法?/p>
亦是金刚石膜制备技术的发展方向?/p>
世界上各大金刚石?/p>
制品公司皆主要采用微波等离子体化学气相法制备金刚石膜?/p>
一、金刚石膜在当代社会中的重要作用?/p>
(1)金刚石膜刀具应?/p>
金刚石膜硬度高、热导率高、摩擦系数低、生物相容性好以及这些优异性能
的组合,可制成金刚石膜的切削刀具、机芯、密封件、人工关节等。使用金刚石
膜工具不仅可以极大提高工具的使用寿命与工效,
还可以极大提高加工精度?/p>
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重要的是解决了超硬合金?/p>
陶瓷材料?/p>
碳纤维?/p>
玻璃纤维等超难加工材料的切削
加工难题,为高、新、精、尖技术和工艺的发展奠定了基础?/p>
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2
)金刚石膜光学应?/p>