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一?/p>

 

简答题?/p>

 

1. 

套准精度的定?/p>

,

套准容差的定义?/p>

 

大约关键尺寸的多少是?/p>

准容?/p>

.

 

套准精度是测量对准系统把

 

版图套准到硅片上图形的能力?/p>

 

套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移?/p>

 

一般,套准容差大约是关键尺寸的三分之一?/p>

 

 

2. 

亚波长结构的光学特性?/p>

 

亚波长结构的光学特性:

 

--

 

光波通过亚波长结构时?/p>

光的衍射消失?/p>

仅产生零级反射和透射?/p>

等效为薄膜,可用于抗反射元件和双折射元件?/p>

 

--

 

采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射,形成新型

偏振器件?/p>

 

--

 

表面等离子波亚波长光?/p>

 

利用表面等离子体波共?/p>

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SPR

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原理?/p>

波导,小孔增强,局域增强等

 

 

4. 

微电子的发展的摩尔定律是什?/p>

?

何谓后摩尔定律?

 

集成电路芯片的集成度每三年提?/p>

4

倍,

 

而加工特征尺寸缩?/p>

倍,

 

这就是摩尔定?/p>

 

 

5. 

单晶?/p>

 

多晶和非晶的特点各是什么?

 

单晶?/p>

 

几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置,即晶格?/p>

置;

 

—?/p>

有源器件的衬?/p>

 

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1. 

套准精度的定?/p>

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套准容差的定义?/p>

 

大约关键尺寸的多少是?/p>

准容?/p>

.

 

套准精度是测量对准系统把

 

版图套准到硅片上图形的能力?/p>

 

套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移?/p>

 

一般,套准容差大约是关键尺寸的三分之一?/p>

 

 

2. 

亚波长结构的光学特性?/p>

 

亚波长结构的光学特性:

 

--

 

光波通过亚波长结构时?/p>

光的衍射消失?/p>

仅产生零级反射和透射?/p>

等效为薄膜,可用于抗反射元件和双折射元件?/p>

 

--

 

采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射,形成新型

偏振器件?/p>

 

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表面等离子波亚波长光?/p>

 

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原理?/p>

波导,小孔增强,局域增强等

 

 

4. 

微电子的发展的摩尔定律是什?/p>

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何谓后摩尔定律?

 

集成电路芯片的集成度每三年提?/p>

4

倍,

 

而加工特征尺寸缩?/p>

倍,

 

这就是摩尔定?/p>

 

 

5. 

单晶?/p>

 

多晶和非晶的特点各是什么?

 

单晶?/p>

 

几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置,即晶格?/p>

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有源器件的衬?/p>

 

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1. 

套准精度的定?/p>

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大约关键尺寸的多少是?/p>

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套准精度是测量对准系统把

 

版图套准到硅片上图形的能力?/p>

 

套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移?/p>

 

一般,套准容差大约是关键尺寸的三分之一?/p>

 

 

2. 

亚波长结构的光学特性?/p>

 

亚波长结构的光学特性:

 

--

 

光波通过亚波长结构时?/p>

光的衍射消失?/p>

仅产生零级反射和透射?/p>

等效为薄膜,可用于抗反射元件和双折射元件?/p>

 

--

 

采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射,形成新型

偏振器件?/p>

 

--

 

表面等离子波亚波长光?/p>

 

利用表面等离子体波共?/p>

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原理?/p>

波导,小孔增强,局域增强等

 

 

4. 

微电子的发展的摩尔定律是什?/p>

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何谓后摩尔定律?

 

集成电路芯片的集成度每三年提?/p>

4

倍,

 

而加工特征尺寸缩?/p>

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这就是摩尔定?/p>

 

 

5. 

单晶?/p>

 

多晶和非晶的特点各是什么?

 

单晶?/p>

 

几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置,即晶格?/p>

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微纳光电子练习题 - 百度文库
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1. 

套准精度的定?/p>

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套准容差的定义?/p>

 

大约关键尺寸的多少是?/p>

准容?/p>

.

 

套准精度是测量对准系统把

 

版图套准到硅片上图形的能力?/p>

 

套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移?/p>

 

一般,套准容差大约是关键尺寸的三分之一?/p>

 

 

2. 

亚波长结构的光学特性?/p>

 

亚波长结构的光学特性:

 

--

 

光波通过亚波长结构时?/p>

光的衍射消失?/p>

仅产生零级反射和透射?/p>

等效为薄膜,可用于抗反射元件和双折射元件?/p>

 

--

 

采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射,形成新型

偏振器件?/p>

 

--

 

表面等离子波亚波长光?/p>

 

利用表面等离子体波共?/p>

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原理?/p>

波导,小孔增强,局域增强等

 

 

4. 

微电子的发展的摩尔定律是什?/p>

?

何谓后摩尔定律?

 

集成电路芯片的集成度每三年提?/p>

4

倍,

 

而加工特征尺寸缩?/p>

倍,

 

这就是摩尔定?/p>

 

 

5. 

单晶?/p>

 

多晶和非晶的特点各是什么?

 

单晶?/p>

 

几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置,即晶格?/p>

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有源器件的衬?/p>

 



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