一?/p>
简答题?/p>
1.
套准精度的定?/p>
,
套准容差的定义?/p>
大约关键尺寸的多少是?/p>
准容?/p>
.
套准精度是测量对准系统把
版图套准到硅片上图形的能力?/p>
套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移?/p>
一般,套准容差大约是关键尺寸的三分之一?/p>
2.
亚波长结构的光学特性?/p>
亚波长结构的光学特性:
--
光波通过亚波长结构时?/p>
光的衍射消失?/p>
仅产生零级反射和透射?/p>
等效为薄膜,可用于抗反射元件和双折射元件?/p>
--
采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射,形成新型
偏振器件?/p>
--
表面等离子波亚波长光?/p>
利用表面等离子体波共?/p>
?/p>
SPR
?/p>
原理?/p>
波导,小孔增强,局域增强等
4.
微电子的发展的摩尔定律是什?/p>
?
何谓后摩尔定律?
集成电路芯片的集成度每三年提?/p>
4
倍,
而加工特征尺寸缩?/p>
倍,
这就是摩尔定?/p>
5.
单晶?/p>
多晶和非晶的特点各是什么?
单晶?/p>
几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置,即晶格?/p>
置;
—?/p>
有源器件的衬?/p>
