直拉单晶硅中的位错
1. 简介
尽管单晶硅石晶格最为完整的人工晶体,但是,依然存在晶格缺陷。
晶体硅的缺陷有多种类型。按照缺陷的结构分类,直拉单晶硅中主要存在点缺陷、位错、层错和微缺陷;
按照晶体生长和加工过程分类,可以分为晶体原生缺陷和二次诱生缺陷。原生缺陷是指晶体生长过程中引入的缺陷,对于直拉单晶硅而言,主要有点缺陷、位错和微缺陷;而二次诱生缺陷是指在硅片或器件加工过程中引入的缺陷,除点缺陷和位错以外,层错是主要可能引入的晶体缺陷。
对于太阳电池用直拉单晶硅,点缺陷的性能研究很少,其对太阳电池性能的影响不得而知;而普通硅太阳电池工艺的热处理步骤远少于集成电路,所以工艺诱生的层错也比较少。显然,在太阳电池用直拉单晶硅中,位错是主要的晶体缺陷。
直拉单晶硅位错的引入可以有三种途径。
一是在晶体生长时,由于籽晶的热冲击,会在晶体中引入原生位错。这种位错一旦产生,会从晶体的头部向尾部延伸,甚至能达到晶体的底部。但是,如果采用控制良好的“缩颈”技术,位错可以在引晶阶段排出晶体硅,所以,集成电路用直拉单晶硅已经能够做到没有热冲击产生的位错。另外,在晶体生长过程中,如果热场不稳定,产生热冲击,也能从固液界面处产生位错,延伸进入晶体硅。对于太阳电池用直拉单晶硅,因为晶体生长速度快,有时有可能会有热冲击位错产生。如果位错密度控制在一定范围内,对太阳电池的效率影响较小;否则,制备出的太阳电池效率就很低了。
二是在晶体滚圆、切片等加工工艺中,由于硅片表面存在机械损伤层,也会引入位错,在随后的热加工过程中,也可能延伸进入硅片体内。
三是热应力引入位错,这是由于在硅片的热加工过程中,由于硅片中心部位和边缘温度的不均匀分布,有可能导致位错的产生。
位错对太阳电池的效率有明显的负面作用,位错可以导致漏电流、p-n结软击穿,导致太阳电池效率的降低。所以,在直拉单晶硅的制备、加工和太阳电池的制造过程中应尽力避免位错的产生和增加。
2.基本性质
位错是一种线缺陷,它是晶体在外力作用下,部分晶体在一定的晶面上沿一定的晶体方向产生滑移,其晶体移动不位和非移动部位的边界就是位错。
位错主要有三种类型,即刃型位错、螺型位错以及由它们组成的混合位错。