扫描电子显微镜（钨灯丝）配置及技术指标
一、 主要用途
1、材料显微结构的二次电子像观察 2、材料显微结构的背散射电子像观察 3、材料微区元素的定性和半定量分析
二、扫描电镜组成
1、主机+电制冷X射线能谱仪 2、计算机控制系统 3、真空系统 4、低真空系统 5、电子光学系统
6、辅助设备（变压器、稳压器、冷却装置等）
7、备品备件（包括灯丝、聚光镜光栏、物镜光栏、保险丝、密封圈、专用工具、碳、银两种导电胶、导电胶带、真空脂、二次电子探测器等） 8、离子溅射仪
三、技术指标
1、二次电子（高真空）分辨率：3.0nm （30KV）
2、背散射电子（高真空）分辨率：4.0nm （ 30KV）
3、放大倍数：最低倍率≤6倍，最高倍率≥300,000倍
4、真空系统
4.1 具有高低真空功能；
4.2 真空泵系统 ： 涡轮分子泵+机械泵
4.4 真空系统阀门：电磁阀或气动阀（配有空压机）
5 电子光学系统
5.1 电子枪：全自动电子枪，具有自动偏压功能
5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，用户可自行拆卸、更换聚光镜光阑 5.3 灯丝：预对中灯丝，灯丝饱和自动调节
6 样品室和样品台
6.1 最大样品尺寸：200mmx75mm 6.2 5轴自动马达驱动样品台
6.3非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作 6.4 具有样品室内部整体观察功能（CCD）
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7 探测器及成像系统
7.1 二次电子探测器：二次电子像
7.2 背散射电子探测器：成分像、形貌像或三维像
7.3 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像 7.4 图像捕捉模式：快慢扫描捕捉、积分捕捉
7.5 电镜操作控制系统：鼠标、键盘及具有手动操作功能部件 7.6软件界面：中英文操作界面（无中文操作界面说明即可），列出标配软件和
外购软件
8 X射线能谱仪的技术指标（扫描电镜附件） 8.1 电制冷探测器
8.2 分别率：优于129eV
8.3探测器活区面积：大于或等于20 8.4元素探测范围：Be（4）—U（92）
8.5软件界面：中英文界面（无中文操作界面说明即可）
8.6软件功能：具备点、线、面分析功能，具有标准通用软件包，列出标配软件
和外购软件
8.7 配有专用电脑和显示器
四、附件、备件、特殊工具和消耗品 提供五年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、各种光栏、专用工具、
样品托、金属抛光膏、银导电胶、导电胶带及预对中灯丝80支） 1 预对中灯丝：80支 2 聚光镜光阑：5套 3 物镜光阑 ：5套 4 银导电胶 ：2瓶 5 导电胶带 ：2卷
五、安装服务
5.1 安装、调试：厂家免费负责仪器的安装、调试，验收合格。 5.2 验收合格后，厂家提供两年的免费服务
5.3 厂家在中国设有专门的应用中心以及固定的维修站，并配有专业维修工程
师，保证提供及时优质的售后服务，并提供操作人员的免费培训。
六、说明
1、仪器上所有零部件均为进口产品，否则，请说明；
2、高低真空扫描电镜和X射线能谱仪一起报价，低真空系统和离子溅射仪单独报价；
3、扫描电镜操作和X射线能谱操作都有独立的电脑。
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