扫描电子显微镜钨灯丝技术指标

扫描电子显微镜(钨灯丝)配置及技术指标

一、 主要用途

1、材料显微结构的二次电子像观察 2、材料显微结构的背散射电子像观察 3、材料微区元素的定性和半定量分析

二、扫描电镜组成

1、主机+电制冷X射线能谱仪 2、计算机控制系统 3、真空系统 4、低真空系统 5、电子光学系统

6、辅助设备(变压器、稳压器、冷却装置等)

7、备品备件(包括灯丝、聚光镜光栏、物镜光栏、保险丝、密封圈、专用工具、碳、银两种导电胶、导电胶带、真空脂、二次电子探测器等) 8、离子溅射仪

三、技术指标

1、二次电子(高真空)分辨率:3.0nm (30KV)

2、背散射电子(高真空)分辨率:4.0nm ( 30KV)

3、放大倍数:最低倍率≤6倍,最高倍率≥300,000倍

4、真空系统

4.1 具有高低真空功能;

4.2 真空泵系统 : 涡轮分子泵+机械泵

4.4 真空系统阀门:电磁阀或气动阀(配有空压机)

5 电子光学系统

5.1 电子枪:全自动电子枪,具有自动偏压功能

5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,用户可自行拆卸、更换聚光镜光阑 5.3 灯丝:预对中灯丝,灯丝饱和自动调节

6 样品室和样品台

6.1 最大样品尺寸:200mmx75mm 6.2 5轴自动马达驱动样品台

6.3非接触报警装置:通过输入的样品尺寸数据,自动避免样品台的危险操作 6.4 具有样品室内部整体观察功能(CCD)

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7 探测器及成像系统

7.1 二次电子探测器:二次电子像

7.2 背散射电子探测器:成分像、形貌像或三维像

7.3 成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像 7.4 图像捕捉模式:快慢扫描捕捉、积分捕捉

7.5 电镜操作控制系统:鼠标、键盘及具有手动操作功能部件 7.6软件界面:中英文操作界面(无中文操作界面说明即可),列出标配软件和

外购软件

8 X射线能谱仪的技术指标(扫描电镜附件) 8.1 电制冷探测器

8.2 分别率:优于129eV

8.3探测器活区面积:大于或等于20 8.4元素探测范围:Be(4)—U(92)

8.5软件界面:中英文界面(无中文操作界面说明即可)

8.6软件功能:具备点、线、面分析功能,具有标准通用软件包,列出标配软件

和外购软件

8.7 配有专用电脑和显示器

四、附件、备件、特殊工具和消耗品 提供五年以上的备品备件(包括各种保险丝、密封圈、各种光栏、专用工具、

样品托、金属抛光膏、银导电胶、导电胶带及预对中灯丝80支) 1 预对中灯丝:80支 2 聚光镜光阑:5套 3 物镜光阑 :5套 4 银导电胶 :2瓶 5 导电胶带 :2卷

五、安装服务

5.1 安装、调试:厂家免费负责仪器的安装、调试,验收合格。 5.2 验收合格后,厂家提供两年的免费服务

5.3 厂家在中国设有专门的应用中心以及固定的维修站,并配有专业维修工程

师,保证提供及时优质的售后服务,并提供操作人员的免费培训。

六、说明

1、仪器上所有零部件均为进口产品,否则,请说明;

2、高低真空扫描电镜和X射线能谱仪一起报价,低真空系统和离子溅射仪单独报价;

3、扫描电镜操作和X射线能谱操作都有独立的电脑。

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